王守武先生自1950年回國(guó)后致力于我國(guó)半導(dǎo)體器件和集成電路事業(yè)40余年，我國(guó)微電子學(xué)研究與開發(fā)的各個(gè)歷程無不留下他的足跡，他為我國(guó)半導(dǎo)體事業(yè)作出了卓越的貢獻(xiàn)。

他是我國(guó)半導(dǎo)體微電子和光電子科技事業(yè)的奠基人之一。他親手研制成功了我國(guó)第一個(gè)鍺合金管，全功能4K和16K位DRAM等。他在國(guó)內(nèi)最早積極倡導(dǎo)建立超凈實(shí)驗(yàn)室，并率先在中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所自主建立了一條超凈線。他最早提出研究和提高LSI成品率問題，并在半導(dǎo)體所以4K位MOS動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器成品率的提高作出了示范。他十分重視半導(dǎo)體設(shè)備的研究，親自指導(dǎo)設(shè)計(jì)了光刻機(jī)和電子束曝光機(jī)，并積極開展了電子束、X射線曝光、干法顯影、離子束改性等基礎(chǔ)工藝的預(yù)先研究。他多次呼吁在引進(jìn)消化外國(guó)技術(shù)的基礎(chǔ)上加強(qiáng)自主的研究與開發(fā)，以形成植根于中國(guó)的1C產(chǎn)業(yè)。他號(hào)召有應(yīng)用價(jià)值的科研成果一定要轉(zhuǎn)化成為產(chǎn)業(yè)，并努力將4K和16K DRAM成果從研究所推廣到工廠。他十分注意創(chuàng)新工作，對(duì)新的思想和新的工藝他都給予熱情的支持。他愛護(hù)、關(guān)心和積極培養(yǎng)中、青年科技隊(duì)伍的成長(zhǎng)，大膽放手讓中、青年人挑重?fù)?dān)，并給予誠(chéng)摯的指導(dǎo)和幫助。他那學(xué)識(shí)淵博、堅(jiān)韌不拔、實(shí)事求是、嚴(yán)肅認(rèn)真、言傳身教、一絲不茍的優(yōu)秀品質(zhì)，永遠(yuǎn)是我們學(xué)習(xí)的榜樣.

1978年鄧小平同志接見出席全國(guó)科學(xué)規(guī)劃會(huì)議的全體代表時(shí)，要求大規(guī)模集成電路盡快趕上世界先進(jìn)水平。此后在中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所掀起了攻克“4K位MOS動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器”難關(guān)的高潮。我有幸能在王守武先生的直接領(lǐng)導(dǎo)下參與這項(xiàng)光榮任務(wù)，聆聽他的教誨。從他的言行所學(xué)到的東西使我受益終生。作為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人，他從一開始就提出了“不僅要研制成功樣品，還要有一定的成品率”。當(dāng)時(shí)我國(guó)LSI的成品率處于1-3%的低水平局面，他要求一定要打破這個(gè)僵局。他分析了成品率低下的種種原因，以嚴(yán)謹(jǐn)?shù)目茖W(xué)作風(fēng)解決了一個(gè)個(gè)影響成品率的問題。近百道工藝要穩(wěn)定，工藝設(shè)備、材料、試劑、氣體、凈化環(huán)境等條件必須穩(wěn)定。為此他親自指導(dǎo)對(duì)化學(xué)試劑進(jìn)行提純，將擴(kuò)散爐安裝成雙重保險(xiǎn)，并24小時(shí)運(yùn)行，以保證爐子的穩(wěn)定和清潔。為了克服繼電器由于打火、簧片氧化造成接觸不良等問題，他親自在簧片上涂焊上白金，使之長(zhǎng)期穩(wěn)定工作.這樣的例子不勝枚舉。就這樣，盡管當(dāng)時(shí)用的全部是國(guó)產(chǎn)設(shè)備、材料、試劑，自主研究開發(fā)的電路設(shè)計(jì)和工藝技術(shù)，連續(xù)十批投片達(dá)到了平均28%的好成績(jī)，并將該成果轉(zhuǎn)移到上海元件五廠。隨后用一年的時(shí)間又研究成功16K位DRAM,并繼續(xù)將該成果轉(zhuǎn)移到上海元件五廠。在這一年多的時(shí)間里，在他的帶領(lǐng)下不但超額完成了任務(wù)而且培養(yǎng)了一支作風(fēng)嚴(yán)謹(jǐn)，訓(xùn)練有素，能夠攻堅(jiān)的科技隊(duì)伍。由此他獲得了全國(guó)勞動(dòng)模范的光榮稱號(hào)。

王守武先生自從中國(guó)科學(xué)院微電子中心成立以來，一直擔(dān)任微電子中心名譽(yù)主任，從中心的大政方針、課題的研究方案，技術(shù)路線到設(shè)備調(diào)試，他都提出獨(dú)到的見解，他以對(duì)微電子中心高度的責(zé)任感和無限的深情關(guān)懷著中心的一草一木。

王先生實(shí)事求是、嚴(yán)謹(jǐn)?shù)目茖W(xué)態(tài)度和對(duì)微電子事業(yè)高度的責(zé)任感貫穿在他的一言一行中。例如，為了中心超凈廠房的恒溫恒濕條件，保證大規(guī)模集成電路的成品率，他堅(jiān)持要將送入超凈室的空氣先冷凝到5℃去濕，然后再加熱至22℃送入室內(nèi)。因此先要致冷后再燒鍋爐加熱，微電子中心當(dāng)時(shí)的一些領(lǐng)導(dǎo)人認(rèn)為浪費(fèi)能源，但是王先生要求我堅(jiān)決按科學(xué)規(guī)律辦事。因此自1988年開始微電子中心凈化廠房一直保持了恒溫恒濕的優(yōu)良生產(chǎn)條件，使開發(fā)線不斷有新產(chǎn)品出現(xiàn)，成品率逐年增高、效益也與日俱增。

王先生主張對(duì)每一臺(tái)舊設(shè)備都要挖掘潛力發(fā)揮其最大的效能.中心有一臺(tái)陳舊的硅片減薄機(jī)，因加工方式落后經(jīng)常碎片,王先生知道后到車間親自操作，找出了碎片的原因并提出了解決方案，使這臺(tái)舊機(jī)器至今仍處于良好的工作狀態(tài)。

王先生雖已年近花甲，但思想仍十分先進(jìn)，從不保守。早在1978年半導(dǎo)體所的超凈線領(lǐng)導(dǎo)機(jī)構(gòu)重新改組，由王先生掛帥，盡管當(dāng)時(shí)尚沒有改革的大環(huán)境，但他克服了重重阻力，實(shí)施“層層點(diǎn)將，優(yōu)化上崗，富余人員下崗”等改革措施，取得了良好的效果。他十分重視培養(yǎng)年輕科技骨干隊(duì)伍，要求給青年人以展示才能的舞臺(tái)，為此他多次找朱亞江同志談話作思想工作，動(dòng)員他承擔(dān)設(shè)計(jì)室主任的重?fù)?dān)，并在各種場(chǎng)合支持青年人的創(chuàng)新思想和改革行動(dòng)?？傊?，在我擔(dān)任微電子中心領(lǐng)導(dǎo)職務(wù)期間，王先生的言傳身教給了我極大的支持和鼓勵(lì)。我的各種思想活動(dòng)也只有向王先生傾訴，他對(duì)我的每一次諄諄教導(dǎo)就像一股股暖流，使我有了必勝的信心，在最困難的時(shí)候感覺有了依靠。他在出國(guó)探親期間仍來函對(duì)工作提出中懇的意見。王先生以他強(qiáng)烈的愛國(guó)熱忱、淵博的知識(shí)、求實(shí)的學(xué)風(fēng)、坦蕩的胸懷和對(duì)我國(guó)微電子事業(yè)的無限深情，成為我們中、青年知識(shí)分子的楷模，永遠(yuǎn)是我們學(xué)習(xí)的榜樣。

王守武先生現(xiàn)在仍孜孜不倦地學(xué)習(xí)新的科技知識(shí)，他親自改裝和修理計(jì)算機(jī)、攝像機(jī)和直流電源等，他親自編寫計(jì)算機(jī)源程序，他對(duì)計(jì)算機(jī)的熟悉程度受到大家的贊賞，中年知識(shí)分子紛紛向他求教。他擁護(hù)黨中央的改革開放主張，并身體力行，貫徹到中國(guó)科學(xué)院微電子中心的各項(xiàng)日常工作中去。他時(shí)常被邀請(qǐng)向青年們作報(bào)告，每一個(gè)報(bào)告都是一次生動(dòng)的愛國(guó)主義教育, 他用自己的親身經(jīng)歷和感受鼓勵(lì)中青科技人員投身到我國(guó)微電子事業(yè)中。在他的教誨下一批批中青年技術(shù)和管理骨干成長(zhǎng)起來。中國(guó)科學(xué)院微電子中心多年來所獲得的各項(xiàng)成績(jī)，都凝聚著王守武先生的心血。他對(duì)我國(guó)微電子事業(yè)所做出的豐功偉績(jī)像他設(shè)計(jì)的微電 子中心大樓一樣永遠(yuǎn)屹立在人們心中。

出處：《王守武院士科研活動(dòng)論著選集》第15-16頁，科學(xué)出版社1999年11月出版

簡(jiǎn)評(píng)：本文描寫了王守武先生自1950年回國(guó)后致力于我國(guó)半導(dǎo)體器件和集成電路事業(yè)的各種事跡。從親自研發(fā)產(chǎn)品、提升成品率并將產(chǎn)品轉(zhuǎn)移到生產(chǎn)中、親自指導(dǎo)設(shè)計(jì)相關(guān)半導(dǎo)體設(shè)備、開展各種基礎(chǔ)工藝預(yù)研，到重視培養(yǎng)青年科技骨干隊(duì)伍、給與青年人以指引、培養(yǎng)作風(fēng)嚴(yán)謹(jǐn)、訓(xùn)練有素、能夠攻堅(jiān)的隊(duì)伍，王守武先生淵博的知識(shí)、求實(shí)的學(xué)風(fēng)、坦蕩的胸懷、堅(jiān)韌不拔、一絲不茍、言傳身教、親力親為的優(yōu)秀品質(zhì)，對(duì)微電子事業(yè)的深情與熱忱，值得我們所有科研人員學(xué)習(xí)。