她是一位杰出的科學(xué)家，也是一位堅(jiān)強(qiáng)的女性。她，一個(gè)家庭，兩位院士，攜手并肩、披荊斬棘，為我國(guó)的半導(dǎo)體事業(yè)發(fā)展做出卓越貢獻(xiàn)。她即將步入杖朝之年，仍投身科研工作，用滿腔熱情和執(zhí)著追求，譜寫出一位女科學(xué)家的精彩人生。她就是我國(guó)早期研究微電子學(xué)的開(kāi)拓者之一、中國(guó)科學(xué)院院士、中國(guó)科學(xué)院微電子研究所研究員、原中國(guó)科學(xué)院微電子中心主任吳德馨先生。

吳德馨先生1936年12月20日生于河北樂(lè)亭一個(gè)普通家庭，次年隨全家遷至天津。她早年喪父，在母親的開(kāi)明教育下，形成了善于獨(dú)立思考、行為果敢的性格。隨著年齡的增長(zhǎng)、學(xué)習(xí)目的的明確，她的成績(jī)?cè)絹?lái)越好，對(duì)數(shù)理化產(chǎn)生了濃厚的興趣。1955年，吳德馨先生以優(yōu)異的成績(jī)考入清華大學(xué)，師從李志堅(jiān)院士，在讀期間曾兩次獲得學(xué)習(xí)成績(jī)優(yōu)良獎(jiǎng)狀。1961年，吳德馨先生從清華大學(xué)無(wú)線電電子學(xué)系半導(dǎo)體專業(yè)畢業(yè)，成為清華大學(xué)第一批半導(dǎo)體專業(yè)的畢業(yè)生。此時(shí)的新中國(guó)各項(xiàng)事業(yè)蓬勃發(fā)展、蒸蒸日上。吳德馨先生躊躇滿志，立志以滿懷的學(xué)識(shí)和一腔熱情獻(xiàn)身科技事業(yè)、報(bào)效偉大祖國(guó)。

畢業(yè)后的吳德馨先生被分配到中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所工作，與王守武院士、王守覺(jué)院士、林蘭英院士、李志堅(jiān)院士等科學(xué)巨匠共事，得到了他們，特別是被吳德馨先生視為恩師的王守武院士的悉心指導(dǎo)。王守武院士創(chuàng)新開(kāi)拓、求真務(wù)實(shí)的工作精神和樸素樂(lè)觀的人生態(tài)度深深感染了吳德馨先生，造就了她工作細(xì)致、治學(xué)嚴(yán)謹(jǐn)、勇于創(chuàng)新、勤于奉獻(xiàn)的作風(fēng)。在半導(dǎo)體所工作期間，吳德馨先生作為課題負(fù)責(zé)人承擔(dān)了解放初期“12年科學(xué)規(guī)劃”中的“平面型高速開(kāi)關(guān)晶體管的研究”，獨(dú)立自主地解決了提高開(kāi)關(guān)速度的關(guān)鍵問(wèn)題，開(kāi)關(guān)速度達(dá)到當(dāng)時(shí)國(guó)際同類產(chǎn)品水平。該技術(shù)在109廠和上海器件五廠進(jìn)行了推廣，打破了西方國(guó)家對(duì)我國(guó)的封鎖，為“兩彈一星”中采用的計(jì)算機(jī)——109丙機(jī)提供器件基礎(chǔ)，產(chǎn)生重大的經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益，獲全國(guó)新產(chǎn)品一等獎(jiǎng)。她開(kāi)發(fā)成功抗輻照的介質(zhì)隔離、金屬化互連技術(shù)和雙極型觸發(fā)器電路以及結(jié)型場(chǎng)效應(yīng)和雙極型集成高阻抗運(yùn)算放大電路，有力支撐了國(guó)防工業(yè)的發(fā)展。

這一時(shí)期，在事業(yè)收獲成就的同時(shí)，吳德馨先生也收獲了自己的愛(ài)情。1966年，她與時(shí)為中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所科研人員的王圩院士結(jié)為伉儷。從此，兩人相濡以沫、攜手并肩，向著科學(xué)的險(xiǎn)峰砥礪前行。實(shí)驗(yàn)室、工藝線、生產(chǎn)車間……都留下了他們勤奮工作的身影。中國(guó)科技界又多了一對(duì)璀璨明亮的“雙子星”。

吳德馨先生十分注重把握世界半導(dǎo)體發(fā)展趨勢(shì)和前沿技術(shù)。1978年，她入選中國(guó)科學(xué)院首批訪美考察團(tuán)，赴美國(guó)GCA Stepper公司考察。1983—1984年，吳先生先后在美國(guó)羅徹斯特大學(xué)與康奈爾大學(xué)任訪問(wèn)學(xué)者，學(xué)習(xí)國(guó)際半導(dǎo)體前沿技術(shù)。1986年，吳德馨先生調(diào)任中國(guó)科學(xué)院微電子中心任中國(guó)科學(xué)院微電子中心副主任、研究員。在此期間，她參與了MOS LSI設(shè)計(jì)與工藝技術(shù)研究，負(fù)責(zé)讀出靈敏放大電路和緩沖器的電路和版圖的設(shè)計(jì)。作為主要負(fù)責(zé)人從事N溝MOS 4k、16k和64k動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器（DRAM）的工藝研究，首次在國(guó)內(nèi)研究成功4K、16K位DRAM，用一年時(shí)間完成了當(dāng)時(shí)國(guó)際上需要3年才能完成的工作。開(kāi)發(fā)成功雙層多晶硅和差值氧化工藝，獨(dú)創(chuàng)了檢驗(yàn)接觸孔質(zhì)量的露點(diǎn)檢測(cè)法，有效提高了LSI成品率，打破了我國(guó)大規(guī)模集成電路成品率長(zhǎng)期低下的局面，該技術(shù)推廣到上海器件五廠，為我國(guó)集成電路的工業(yè)生產(chǎn)奠定了基礎(chǔ)。研究成功1微米CMOS全套工藝與專用和半專用集成電路。研究開(kāi)發(fā)了系列功率VDMOS器件。

1991年，吳德馨先生臨危受命擔(dān)任中國(guó)科學(xué)院微電子中心主任。她帶領(lǐng)全中心同志客服重重困難、大膽改革、努力創(chuàng)新，積極探索新的科研和開(kāi)發(fā)領(lǐng)域，科研成果和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)等效益不斷增加，開(kāi)創(chuàng)了微電子中心發(fā)展的新局面。1991年11月，吳德馨先生當(dāng)選中國(guó)科學(xué)院學(xué)部委員（院士），但她仍然投身科研一線，親自從事科學(xué)研究。在此期間，她領(lǐng)導(dǎo)開(kāi)發(fā)了0.8微米CMOS全套工藝。她赴美與某公司領(lǐng)導(dǎo)和技術(shù)人員進(jìn)行談判，憑借機(jī)敏與智慧、嫻熟的專業(yè)知識(shí)和流利的英語(yǔ)在競(jìng)爭(zhēng)中獲勝，順利簽訂了合作協(xié)議。她注重引進(jìn)、吸收國(guó)外先進(jìn)技術(shù)，主持了109廠進(jìn)口設(shè)備的安裝調(diào)試、工藝和產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)，率領(lǐng)同志們進(jìn)行了生產(chǎn)技術(shù)研究，極大提升了產(chǎn)品附加值，為引進(jìn)吸收國(guó)外先進(jìn)技術(shù)、推動(dòng)科研成果轉(zhuǎn)化為批量產(chǎn)品樹(shù)立了榜樣。她十分關(guān)心群眾疾苦，在中心困難的情況下解決廣大科技人員住房、年輕科技人員的待遇等問(wèn)題，深得同志們的敬佩，以至于在吳德馨先生60歲離任時(shí)，絕大多數(shù)同志希望她繼續(xù)留任。

離開(kāi)領(lǐng)導(dǎo)崗位的吳德馨先生并未放松科學(xué)研究，她領(lǐng)導(dǎo)科研人員研究成功0.1微米砷化鎵/鋁鎵砷異質(zhì)結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管，研究具有高密度二維電子氣的多層異質(zhì)外延結(jié)構(gòu)，低電阻率的T形柵結(jié)構(gòu)、超深亞微米微細(xì)加工技術(shù)和高功函數(shù)的肖特基柵結(jié)構(gòu)。在國(guó)內(nèi)首次研制成功全功能砷化鎵/銦鎵磷HBT 10Gbps光纖通信光發(fā)射驅(qū)動(dòng)電路。在國(guó)內(nèi)率先提出了利用MEMS結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)激光器和光纖的無(wú)源耦合，并進(jìn)行技術(shù)研發(fā)提高了耦合的合格率。作為國(guó)家攀登計(jì)劃首席科學(xué)家負(fù)責(zé)“深亞微米結(jié)構(gòu)器件及介觀物理”項(xiàng)目研究，開(kāi)展了12項(xiàng)課題研究，總評(píng)為優(yōu)秀，為介觀物理基礎(chǔ)和新結(jié)構(gòu)期間的進(jìn)一步研究打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

1998—2003年，吳德馨先生先后當(dāng)選中華人民共和國(guó)第九、十屆全國(guó)人民代表大會(huì)常務(wù)委員會(huì)委員。她認(rèn)真履行代表職能，積極建言獻(xiàn)策，多次向中央領(lǐng)導(dǎo)匯報(bào)微電子技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)并提出建議，多次參加國(guó)家和中國(guó)科學(xué)院發(fā)展規(guī)劃的制定和主持執(zhí)筆兩院院士對(duì)國(guó)家集成電路發(fā)展咨詢報(bào)告的撰寫等工作，有力推動(dòng)了我國(guó)半導(dǎo)體事業(yè)的發(fā)展。

吳德馨先生桃李滿天下，從教以來(lái)先后培養(yǎng)了10余名學(xué)生。他們現(xiàn)在已分布在世界各地，成為各自崗位的行家里手和單位的骨干力量。其中便有中國(guó)科學(xué)院微電子研究所副所長(zhǎng)劉新宇研究員，中國(guó)科學(xué)院院士、微電子所微電子器件與集成技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任劉明研究員，微電子所高頻高壓器件與集成研發(fā)中心副主任劉洪剛研究員，他們都是微電子所科研和管理工作的中堅(jiān)力量，成為微電子所的寶貴財(cái)富。

生活中的吳先生勤儉樸素、樂(lè)觀開(kāi)朗。多年來(lái)，孩子們的衣服都由她親手縫制和修補(bǔ)，因此得名“業(yè)余裁縫”。她經(jīng)常與愛(ài)人王圩先生就半導(dǎo)體技術(shù)進(jìn)行了探討交流，“切磋”技藝。她尊敬師長(zhǎng)，堅(jiān)持與老師王守武先生一家共度新年。她酷愛(ài)旅行，退休后時(shí)常“夫妻雙雙去旅行”，飽覽她為之奉獻(xiàn)的祖國(guó)大好河山。

2016年是吳德馨先生八十壽辰。她為祖國(guó)半導(dǎo)體事業(yè)奮斗了整整60年。一甲子的時(shí)光，中國(guó)大地風(fēng)云變幻，先生一直活躍在半導(dǎo)體領(lǐng)域，用她的智慧俯仰天地、探索未知。她始終將自己看作是自然規(guī)律的“搬運(yùn)工”，這份對(duì)自然規(guī)律的敬畏和謙虛，也許正是先生心中的大道。大道至簡(jiǎn)，只能體悟，不可言說(shuō)。也許我們只能從中窺之一二，而即便是這一二，也足以讓我們受益匪淺。

在此，讓我們共同向吳德馨先生八十華誕及先生在半導(dǎo)體科學(xué)領(lǐng)域筆耕六十載不輟之榮，表示最衷心的祝福和最真摯的祝賀，祝愿先生健康永遠(yuǎn)，福壽綿長(zhǎng)！