1958年，為研制“兩彈一星”專(zhuān)用109計(jì)算機(jī)，中科院微電子所的前身、我國(guó)第一個(gè)半導(dǎo)體器件生產(chǎn)廠——“中國(guó)科學(xué)院109廠”成立，從此，中國(guó)有了自己的半導(dǎo)體事業(yè)。有這樣一群人，面對(duì)艱難困境，他們不服輸、不認(rèn)邪，默默地為中國(guó)集成電路事業(yè)打地基、添磚瓦，把青春年華獻(xiàn)給了祖國(guó)的科技事業(yè)。微電子所徐秋霞研究員便是其中杰出的一位。

一、不畏艱難，立志科研報(bào)國(guó)

1961年，徐秋霞考入浙江大學(xué)物理學(xué)專(zhuān)業(yè)。大三時(shí)，國(guó)家發(fā)展半導(dǎo)體事業(yè)急需人才，她隨之轉(zhuǎn)入了半導(dǎo)體專(zhuān)業(yè)，從此便與半導(dǎo)體結(jié)下了不解之緣。她勤奮學(xué)習(xí)，立志科研報(bào)國(guó)，決心要為祖國(guó)的半導(dǎo)體事業(yè)努力奮斗。從浙江大學(xué)物理學(xué)專(zhuān)業(yè)畢業(yè)后，徐秋霞選擇去條件艱苦的東北長(zhǎng)春半導(dǎo)體廠工作，一干就是10多年，期間與愛(ài)人兩地分居8年多。作為新產(chǎn)品試制線(xiàn)負(fù)責(zé)人，她帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)一次次完成了急難險(xiǎn)重任務(wù)，曾經(jīng)連續(xù)奮戰(zhàn)八個(gè)晝夜未眠。在一次項(xiàng)目攻關(guān)期間，她的父親突發(fā)急病，女兒又患上急性肝炎，為影響生產(chǎn)任務(wù)，她白天帶父親、女兒看病，晚上加班加點(diǎn)趕進(jìn)度，確保了項(xiàng)目按時(shí)保質(zhì)保量完成。在長(zhǎng)春工作期間，她先后為廠里建立了兩條晶體管生產(chǎn)線(xiàn)，并獲得了穩(wěn)定的生產(chǎn)和成品率，產(chǎn)生了良好的經(jīng)濟(jì)效益，獲評(píng)長(zhǎng)春市先進(jìn)工作者。

二、創(chuàng)新攻關(guān)，助力強(qiáng)國(guó)之夢(mèng)

1978年，徐秋霞進(jìn)入中科院工作。在王守武院士、吳德馨院士的指導(dǎo)下，她作為工藝技術(shù)負(fù)責(zé)人，參與并完成了大規(guī)模集成電路4K DRAM的研制及其提高成品率的研究任務(wù)。1984年，她擔(dān)任中科院“七五”重大項(xiàng)目負(fù)責(zé)人，承擔(dān)了“1-1.5微米新工藝和新器件結(jié)構(gòu)探索性研究”，超指標(biāo)研制成功性能優(yōu)良的柵長(zhǎng)0.6微米Ti自對(duì)準(zhǔn)硅化物LDD MOS器件及31級(jí)環(huán)振電路，達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先和國(guó)際先進(jìn)水平，獲評(píng)中科院“七五”重大科研任務(wù)先進(jìn)工作者?！鞍宋濉逼陂g，她作為核心骨干承擔(dān)了“0.8微米全套工藝預(yù)研”項(xiàng)目關(guān)鍵技術(shù)研究和集成電路芯片制備，首次在國(guó)內(nèi)自主研發(fā)成功用于0.8微米VLSI的雙層金屬布線(xiàn)技術(shù)，并成功應(yīng)用于0.8微米CMOS電路研制，獲1996年中科院科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)、1997年國(guó)家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)。

1996年，徐秋霞作為中科院高級(jí)訪(fǎng)問(wèn)學(xué)者在美國(guó)加州大學(xué)伯克利分校做科研工作。她謝絕了伯克利大學(xué)的盛情挽留和優(yōu)厚待遇，回國(guó)投身“九五”科研攻關(guān)。她承擔(dān)了國(guó)家重點(diǎn)攻關(guān)專(zhuān)題“0.1微米級(jí)CMOS器件結(jié)構(gòu)及性能研究”，首次用創(chuàng)新工藝技術(shù)研制成功了柵長(zhǎng)70納米CMOS器件和100納米57級(jí)環(huán)振電路，各項(xiàng)特性指標(biāo)和環(huán)振速度達(dá)到國(guó)際上同類(lèi)研究工作的先進(jìn)水平，成為當(dāng)時(shí)我國(guó)一項(xiàng)重大的科研成果。該成果與她負(fù)責(zé)另一項(xiàng)國(guó)家重點(diǎn)攻關(guān)專(zhuān)題“0.18微米關(guān)鍵技術(shù)研究”同獲2002年北京市科學(xué)技術(shù)二等獎(jiǎng)。

“十五”期間，徐秋霞作為國(guó)家重大基礎(chǔ)研究“973”課題負(fù)責(zé)人，承擔(dān)了“亞50納米器件的關(guān)鍵工藝技術(shù)基礎(chǔ)研究和器件制備”攻關(guān)任務(wù)，在器件設(shè)計(jì)和關(guān)鍵技術(shù)方面自主創(chuàng)新，超指標(biāo)完成了亞30納米器件關(guān)鍵技術(shù)研究，以第一發(fā)明人獲國(guó)家發(fā)明專(zhuān)利授權(quán)10項(xiàng)。2003年1月，她在國(guó)內(nèi)首次研制成功了性能優(yōu)良的柵長(zhǎng)27納米CMOS器件和32分頻器電路（其中嵌入了201級(jí)環(huán)形振蕩器）。該成果獲2004年北京市科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)，并獲2005年國(guó)家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)。同期承擔(dān)的“863”課題“0.09微米集成電路大生產(chǎn)工藝與可制造性技術(shù)研究”中的子課題研究獲2007年教育部科技一等獎(jiǎng)、2008年國(guó)家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)。

“十一五”期間，徐秋霞擔(dān)任國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)“22納米關(guān)鍵工藝技術(shù)先導(dǎo)研究”項(xiàng)目“工藝整合與集成技術(shù)研究”課題的首席科學(xué)家和“973”課題負(fù)責(zé)人。她帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)堅(jiān)持自主創(chuàng)新，針對(duì)22納米及以下器件結(jié)構(gòu)和新技術(shù)展開(kāi)了深入研究，攻克了重重技術(shù)難關(guān)，發(fā)表論文30多篇，獲專(zhuān)利授權(quán)40多項(xiàng)，項(xiàng)目成果“22-14納米集成電路器件工藝先導(dǎo)技術(shù)”獲2016年北京市科學(xué)技術(shù)一等獎(jiǎng)、2017年國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)。

三、無(wú)私奉獻(xiàn)，書(shū)寫(xiě)絢麗科學(xué)人生

徐秋霞堅(jiān)信，成功不是輕易獲得的。從長(zhǎng)春半導(dǎo)體廠到中科院的前沿研究，從“七五”到“十一五”技術(shù)攻關(guān)，數(shù)十載科技創(chuàng)新實(shí)踐磨煉了徐秋霞艱苦奮斗的優(yōu)良品質(zhì)和不畏險(xiǎn)阻的堅(jiān)強(qiáng)意志。只要是工作，她就永遠(yuǎn)不會(huì)感覺(jué)疲勞。無(wú)論是工作日、休息日，甚至節(jié)假日，她每天都在超凈實(shí)驗(yàn)室里工作10多個(gè)小時(shí)。任務(wù)緊急時(shí)，甚至通宵達(dá)旦。從項(xiàng)目的總體技術(shù)路線(xiàn)的確定，到單項(xiàng)實(shí)驗(yàn)、技術(shù)集成直至最后的流片方案，她事必親躬，力求做到萬(wàn)無(wú)一失。

2006年，先導(dǎo)中心工藝線(xiàn)改造升級(jí)。為了不耽誤科研進(jìn)度，徐秋霞和她的團(tuán)隊(duì)采取超常規(guī)的工作方式，從早7點(diǎn)連續(xù)工作到次日凌晨，每天只吃一頓午飯。如果實(shí)驗(yàn)不順利，就會(huì)通宵達(dá)旦。臨近春節(jié)，工作強(qiáng)度仍然不減。她的一名博士把家人從山東老家接到北京團(tuán)聚。除夕夜，徐秋霞本打算邀請(qǐng)學(xué)生和他的家人一起吃年夜飯。但由于工作緊張，一直忙碌到第二天凌晨，連飯都沒(méi)顧上吃。徐秋霞感到十分愧疚。但這位學(xué)生的父親卻真誠(chéng)地說(shuō)：“把兒子交給您，我很放心。”學(xué)生家長(zhǎng)的理解和信任給了她莫大的安慰和支持。

2013年，徐秋霞不慎摔了一跤，醫(yī)院診斷為脊椎壓縮性骨折。領(lǐng)導(dǎo)和同事都非常關(guān)心她的傷勢(shì)。手術(shù)很成功，但必須臥床休養(yǎng)。期間，她每天都用電話(huà)和電子郵件與團(tuán)隊(duì)成員溝通工作。一個(gè)月后，她剛能起身下床，便不顧家人、領(lǐng)導(dǎo)和同事的勸說(shuō)，身著鐵背心堅(jiān)持上班。同事們非常感動(dòng)，最大限度地給予她幫助。同事們的關(guān)心和愛(ài)護(hù)給了徐秋霞溫暖，也給了她努力康復(fù)的精神力量。她堅(jiān)持每天做康復(fù)訓(xùn)練，3個(gè)月后，終于脫去鐵背心，再次快樂(lè)地奮戰(zhàn)在科研一線(xiàn)。

四、教書(shū)育人，培育高新科技人才

在從事科研工作的同時(shí)，徐秋霞為研究生培養(yǎng)傾注了大量心血。作為博士生導(dǎo)師，她為人師表、教書(shū)育人，將知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)毫不保留地傳授給學(xué)生。無(wú)論科研工作多么繁忙，她總是抽出時(shí)間與學(xué)生交流，循循善誘、悉心指導(dǎo)，啟發(fā)學(xué)生思考。她常教導(dǎo)學(xué)生，做科研首先要有創(chuàng)新精神，只有大膽創(chuàng)新、敢于突破，才能產(chǎn)出成果；其次要心態(tài)平和，甘于清貧、甘于寂寞、甘于枯坐冷板凳，要一步一個(gè)腳印，將夢(mèng)想變?yōu)楝F(xiàn)實(shí)。徐秋霞培養(yǎng)的學(xué)生多次獲得研究所特等獎(jiǎng)學(xué)金、華為獎(jiǎng)學(xué)金、中科院“三好學(xué)生標(biāo)兵”、中科院朱李月華獎(jiǎng)學(xué)金、中科院院長(zhǎng)獎(jiǎng)學(xué)金等。她本人也多次獲評(píng)“優(yōu)秀教師”、“研究生喜愛(ài)的老師”等稱(chēng)號(hào)。

如今，徐秋霞已年逾七旬，仍然精神矍鑠，像年輕人一樣充滿(mǎn)活力，堅(jiān)持奮戰(zhàn)在科研一線(xiàn)。她常說(shuō)“我多么希望咱們中國(guó)在最前沿的集成電路科技領(lǐng)域，能夠擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，能夠具有核心技術(shù)的競(jìng)爭(zhēng)力，能成為集成電路產(chǎn)業(yè)的強(qiáng)國(guó)。幾十年來(lái)，我一直希望看到這樣一個(gè)局面?！彼脤?shí)際行動(dòng)，為實(shí)現(xiàn)這個(gè)目標(biāo)而畢生努力。在徐秋霞身上，我們看到了一名老科學(xué)家的光輝形象，她幾十年如一日，盡忠職守，為集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展無(wú)私奉獻(xiàn)了自己的一生，以實(shí)際行動(dòng)，激勵(lì)著后來(lái)人為實(shí)現(xiàn)中國(guó)集成電路強(qiáng)國(guó)之夢(mèng)而奮斗！

工作中的徐秋霞研究員