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集成電路計算光刻與設(shè)計優(yōu)化實驗室依托于中國科學(xué)院微電子研究所，成立于2013年7月，由韋亞一博士組建。實驗室下設(shè)如下主要方向：集成電路計算光刻方向、設(shè)計與工藝協(xié)同優(yōu)化方向、先進(jìn)光刻工藝。實驗室在2016年8月開通了“光刻人的世界”公眾號，旨在分享光刻領(lǐng)域（包括光刻、刻蝕、設(shè)計優(yōu)化、測量）的動態(tài)和最新進(jìn)展、以及相關(guān)的各種專業(yè)知識和實用資源，打造集成電路制造...
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集成電路計算光刻與設(shè)計優(yōu)化實驗室依托于中國科學(xué)院微電子研究所，成立于2013年7月，由韋亞一博士組建。實驗室下設(shè)如下主要方向：集成電路計算光刻方向、設(shè)計與工藝協(xié)同優(yōu)化方向、先進(jìn)光刻工藝。實驗室在2016年8月開通了“光刻人的世界”公眾號，旨在分享光刻領(lǐng)域（包括光刻、刻蝕、設(shè)計優(yōu)化、測量）的動態(tài)和最新進(jìn)展、以及相關(guān)的各種專業(yè)知識和實用資源，打造集成電路制造...