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MEMS器件及系統(tǒng)中心隸屬于中國科學院微電子研究所集成電路先導工藝研發(fā)中心，是CMOS-MEMS兼容的微納加工、檢測與代工服務(wù)于一體的多功能加工平臺。主要為客戶提供MEMS工藝開發(fā)、測試分析、設(shè)計及結(jié)構(gòu)驗證、 MEMS器件代工制造、封裝與測試等服務(wù)。該中心可與研究所、高校和企業(yè)全方位對接，為科研服務(wù)，同時兼顧企業(yè)需求，為企業(yè)提供技術(shù)支撐與代工服務(wù)。對外開放共享是研究...
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MEMS器件及系統(tǒng)中心隸屬于中國科學院微電子研究所集成電路先導工藝研發(fā)中心，是CMOS-MEMS兼容的微納加工、檢測與代工服務(wù)于一體的多功能加工平臺。主要為客戶提供MEMS工藝開發(fā)、測試分析、設(shè)計及結(jié)構(gòu)驗證、 MEMS器件代工制造、封裝與測試等服務(wù)。該中心可與研究所、高校和企業(yè)全方位對接，為科研服務(wù)，同時兼顧企業(yè)需求，為企業(yè)提供技術(shù)支撐與代工服務(wù)。對外開放共享是研究...