微電子所面向國家戰(zhàn)略需求，聚焦發(fā)展定位目標，整合優(yōu)化資源，于2009年建設(shè)所級中心（以下簡稱“中心”）。中心通過不斷建設(shè)發(fā)展，已建成國際先進、國內(nèi)領(lǐng)先的微電子集成電路先導(dǎo)技術(shù)、集成電路與器件測試和可靠性失效分析三個平臺，重點支撐延伸及超越摩爾定律的半導(dǎo)體新器件加工、測試及可靠性失效分析，提升研究所科技創(chuàng)新能力。持續(xù)提升儀器的利用率、共享率，向高校、科研機構(gòu)及企業(yè)提供科技服務(wù)。加強科教融合，建設(shè)成我國微電子領(lǐng)域高素質(zhì)創(chuàng)新人才和優(yōu)秀工程師的培訓(xùn)基地。
截至2023年底，中心共有儀器設(shè)備223臺/套，設(shè)備總值57488.21萬元。固定技術(shù)人員88人，其中高級職稱27人。引進院級高層次人才引進計劃1人，培養(yǎng)院關(guān)鍵技術(shù)人才3人，青促會3人，特聘崗11人，院所兩級優(yōu)秀人才1人。
所級公共技術(shù)中心