北京市微電子制備儀器設(shè)備工程技術(shù)研究中心成立于2016年12月，依托于中國(guó)科學(xué)院微電子研究所，共建單位為北京泰龍電子技術(shù)有限公司。

　　工程中心的研發(fā)方向主要圍繞微納加工技術(shù)，薄膜生長(zhǎng)工藝、刻蝕工藝以及微納加工的儀器設(shè)備開發(fā)。主要研究?jī)?nèi)容包括：

　　1、重點(diǎn)開展等離子體加工技術(shù)，研究薄膜生長(zhǎng)及圖形化刻蝕工藝。

　　2、重點(diǎn)開展等離子體加工設(shè)備，包括原子層沉積系統(tǒng)、等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)、濺射系統(tǒng)、激光脈沖沉積系統(tǒng)、離子體刻蝕機(jī)。并針對(duì)現(xiàn)階段多樣化的工藝需求，開展多種工藝一體化設(shè)備研究，如二維材料生長(zhǎng)及器件一體化儀器，解決微電子科學(xué)及微納制造技術(shù)中所涉及的核心問(wèn)題。

　　3、培育和參與國(guó)內(nèi)微電子設(shè)備企業(yè)，持續(xù)提供創(chuàng)新核心技術(shù)和源頭的創(chuàng)新能力，培養(yǎng)微納加工人才，為我國(guó)的微電子產(chǎn)業(yè)裝備技術(shù)自主能力提升奠定技術(shù)基礎(chǔ)。

　　工程中心依托強(qiáng)大的科研實(shí)力和人才技術(shù)優(yōu)勢(shì)，遵循市場(chǎng)導(dǎo)向，致力于推動(dòng)科研成果的落地和產(chǎn)業(yè)化，已經(jīng)為企業(yè)和科研院所提供較高性價(jià)比的微納加工設(shè)備，通過(guò)與高校、院所及企業(yè)的合作、聯(lián)合，建立產(chǎn)學(xué)研用聯(lián)盟，對(duì)發(fā)展我國(guó)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的微電子關(guān)鍵裝備提供了技術(shù)儲(chǔ)備，對(duì)集成電路產(chǎn)業(yè)和相關(guān)學(xué)科的發(fā)展有重大的意義。