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專利

專利名稱 發(fā)明人 申請(qǐng)?zhí)?/th> 申請(qǐng)日期
一種射頻阻抗匹配器 孫小孟,李勇滔,趙章琰,李英杰,秦威,夏洋; 201110301153.6 2011-09-28
一種可實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)處理的原子層沉積設(shè)備 王燕,李勇滔,夏洋,趙章琰,石莎莉; 201110300813.9 2011-09-29
一種沉積室容積可調(diào)節(jié)的原子層沉積設(shè)備 王燕,李勇滔,夏洋,趙章琰,石莎莉; 201110300066.9 2011-09-29
一種原子層沉積設(shè)備及其使用方法 王燕,李勇滔,夏洋,趙章琰,石莎莉; 201110300843.X 2011-09-29
一種安全性高的原子層沉積設(shè)備 王燕,李勇滔,夏洋,趙章琰,石莎莉; 201110300052.7 2011-09-29
一種可快速處理數(shù)據(jù)的原子層沉積設(shè)備 王燕,李勇滔,夏洋,趙章琰,石莎莉; 201110300006.7 2011-09-29
一種檢測(cè)存儲(chǔ)單元漏電流的方法及系統(tǒng) 龍爽,陳嵐,陳巍巍,楊詩(shī)洋; 201110391548.X 2011-11-30
產(chǎn)生中性粒子束的裝置及方法 席峰,李勇滔,李楠,張慶釗,夏洋; 201110288162.6 2011-09-26
產(chǎn)生中性粒子束的裝置及方法 席峰,李勇滔,李楠,張慶釗,夏洋; 201110288064.2 2011-09-26
一種用于離子中性化的網(wǎng)板結(jié)構(gòu) 席峰,李勇滔,李楠,張慶釗,夏洋; 201110289007.6 2011-09-26
一種非金屬真空腔室結(jié)構(gòu) 席峰,李勇滔,李楠,張慶釗,夏洋; 201110287953.7 2011-09-26
一種平板電極固定結(jié)構(gòu) 席峰,李勇滔,李楠,張慶釗,夏洋; 201110287921.7 2011-09-26
一種離子中性化網(wǎng)板 席峰,李勇滔,李楠,張慶釗,夏洋; 201110287917.0 2011-09-26
一種電極固定結(jié)構(gòu) 席峰,李勇滔,李楠,張慶釗,夏洋; 201110287764.X 2011-09-26
一種氮化鋁薄膜的制備方法 饒志鵬,萬(wàn)軍,夏洋,李超波,劉鍵,陳波,黃成強(qiáng),石莎莉,李勇滔; 201110287431.7 2011-09-26