近日,國家自然科學(xué)基金委員會信息科學(xué)部組織專家組在北京召開了重大項(xiàng)目中期評估會,對中國科學(xué)院微電子研究所主持的重大項(xiàng)目“氮化鎵基毫米波器件和材料基礎(chǔ)與關(guān)鍵問題研究”進(jìn)行了中期檢查。專家組聽取了項(xiàng)目負(fù)責(zé)人、微電子所所長葉甜春研究員所作的項(xiàng)目總體執(zhí)行情況匯報(bào)以及三個(gè)子課題的執(zhí)行情況匯報(bào),并進(jìn)行了質(zhì)詢和討論。
該項(xiàng)目圍繞GaN基毫米波功率器件研制中涉及的核心科學(xué)和技術(shù)問題開展工作,對GaN基毫米波器件制備和材料生長中的關(guān)鍵科學(xué)問題、GaN基功率器件可靠性關(guān)鍵科學(xué)問題、GaN基毫米波功率器件與材料的新結(jié)構(gòu)三個(gè)方面進(jìn)行了深入和系統(tǒng)研究。項(xiàng)目和各課題均按照研究計(jì)劃順利實(shí)施,部分結(jié)果超額完成,尤其在高阻緩沖層與薄勢壘GaN異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料、GaN毫米波器件和電路、高場2DEG輸運(yùn)特性、新型GaN功率器件、可靠性機(jī)理等方面取得了重要進(jìn)展。
專家組經(jīng)過認(rèn)真討論,認(rèn)為本項(xiàng)目出色的完成了預(yù)期目標(biāo),且某些領(lǐng)域超額完成任務(wù)要求。最后,專家組一致同意本項(xiàng)目通過中期檢查。
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