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科研動態(tài)

微電子所“中國科學(xué)院科研裝備研制項(xiàng)目”順利通過專家驗(yàn)收

稿件來源: 發(fā)布時間:2014-10-28

  10月24日,院條財(cái)局科技條件處組織專家對微電子所牽頭的三個“中國科學(xué)院科研裝備研制項(xiàng)目”進(jìn)行了現(xiàn)場驗(yàn)收。 

  此次驗(yàn)收的三個項(xiàng)目分別是微電子所與半導(dǎo)體所合作的“新型半導(dǎo)體存儲技術(shù)可靠性多功能綜合評估平臺”、與蘇州納米所合作的“有機(jī)電子低溫柔性薄膜封裝ICP-PECVD系統(tǒng)及工藝”以及“多元微波混合電場穿透式熱處理系統(tǒng)”,分別形成了“多功能綜合評估平臺系統(tǒng)”、“有機(jī)薄膜封裝系統(tǒng)”和“微波熱處理系統(tǒng)”三項(xiàng)成果,并獲得了相關(guān)的自主知識產(chǎn)權(quán)。其中,“微波熱處理系統(tǒng)”屬于國內(nèi)首次研制成功的多元微波混合電場穿透式熱處理系統(tǒng),解決了22nm以下CMOS器件超淺結(jié)退火工藝的關(guān)鍵難題。 

  驗(yàn)收會和現(xiàn)場測試分別按照研究領(lǐng)域分組同時進(jìn)行。專家組詳細(xì)聽取了項(xiàng)目研制、管理和經(jīng)費(fèi)決算等情況匯報(bào),現(xiàn)場檢查了設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)及運(yùn)行情況,指出項(xiàng)目設(shè)備自運(yùn)行以來為微電子所及其他科研院所和高校提供了可靠的測試服務(wù)、封裝服務(wù)和退火服務(wù),有力地支持了微電子所承擔(dān)的多個項(xiàng)目的研究工作,促進(jìn)了與外單位的良好合作。經(jīng)過認(rèn)真討論,專家組一致認(rèn)為,三個項(xiàng)目均完成了實(shí)施方案規(guī)定的研制任務(wù),部分指標(biāo)優(yōu)于任務(wù)書指標(biāo)要求,文件檔案齊全,經(jīng)費(fèi)使用合理,同意項(xiàng)目通過驗(yàn)收。

 

 

驗(yàn)收會現(xiàn)場 

現(xiàn)場測試 

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