12月13—14日，國(guó)家科技重大專項(xiàng)02專項(xiàng)實(shí)施管理辦公室組織專家對(duì)“22納米關(guān)鍵工藝技術(shù)先導(dǎo)研究與平臺(tái)建設(shè)”項(xiàng)目進(jìn)行了現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)收。該項(xiàng)目由國(guó)家科技重大專項(xiàng)02專項(xiàng)集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心承擔(dān)，成員包括中科院微電子所、中科院上海微系統(tǒng)所、清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)等單位。 

　　項(xiàng)目研究團(tuán)隊(duì)首次在國(guó)內(nèi)針對(duì)集成電路先導(dǎo)工藝技術(shù)組織產(chǎn)學(xué)研聯(lián)盟并開(kāi)展聯(lián)合攻關(guān)，經(jīng)過(guò)五年的努力，完成了任務(wù)合同書(shū)的全部考核指標(biāo)和研究?jī)?nèi)容，在高K/金屬柵、新器件結(jié)構(gòu)、溝道工程、源漏工程和互連等若干關(guān)鍵技術(shù)及工藝模塊上取得了一系列具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的重大技術(shù)創(chuàng)新成果：第一，實(shí)現(xiàn)了我國(guó)集成電路先導(dǎo)技術(shù)研發(fā)從90納米到22納米技術(shù)代的跨越，研究水平邁入世界先進(jìn)主流；第二，提出了“專利指導(dǎo)下的研發(fā)戰(zhàn)略”，面向22-14納米技術(shù)代形成了較為系統(tǒng)的知識(shí)產(chǎn)權(quán)布局，共完成專利申請(qǐng)1656項(xiàng)，其中美國(guó)專利申請(qǐng)501項(xiàng)；第三，實(shí)現(xiàn)了部分專利成果向國(guó)內(nèi)大型集成電路制造企業(yè)的許可轉(zhuǎn)讓（共計(jì)1221項(xiàng)），現(xiàn)已進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化開(kāi)發(fā)階段；第四，建立了面向22納米及以下技術(shù)代的先導(dǎo)技術(shù)研發(fā)公共平臺(tái)和產(chǎn)學(xué)研聯(lián)合攻關(guān)組織平臺(tái)，有效地為相關(guān)企業(yè)、科研院所及高校提供了開(kāi)放服務(wù)，已逐漸成為產(chǎn)學(xué)研開(kāi)放合作基地；第五，引進(jìn)海外學(xué)術(shù)帶頭人21人，形成了一支國(guó)際化的高水平研發(fā)隊(duì)伍。 

　　驗(yàn)收專家組由產(chǎn)學(xué)研用各領(lǐng)域知名專家組成。驗(yàn)收會(huì)上，專家組認(rèn)真聽(tīng)取了各項(xiàng)目（課題）負(fù)責(zé)人關(guān)于項(xiàng)目（課題）完成情況的匯報(bào)、用戶代表中芯國(guó)際集成電路制造有限公司對(duì)項(xiàng)目成果驗(yàn)證情況的報(bào)告和中科院監(jiān)理部對(duì)項(xiàng)目監(jiān)理情況的報(bào)告，審閱了驗(yàn)收材料。經(jīng)過(guò)充分討論、質(zhì)詢和評(píng)議，專家組對(duì)項(xiàng)目取得的研究成果給予高度評(píng)價(jià)，認(rèn)為該項(xiàng)目的研究成果，為22-14納米技術(shù)代工業(yè)化二次開(kāi)發(fā)積累了關(guān)鍵核心技術(shù)，為后續(xù)16納米及以下技術(shù)代（包括10納米、7納米等）的基礎(chǔ)技術(shù)研發(fā)奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)，一致同意該項(xiàng)目通過(guò)驗(yàn)收。 

　　該項(xiàng)目的實(shí)施，顯著提升了我國(guó)在集成電路制造工藝方面的當(dāng)前及后續(xù)研發(fā)能力，為我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的自主創(chuàng)新和可持續(xù)發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。 

驗(yàn)收會(huì)現(xiàn)場(chǎng)