7月18-19日，國家科技重大專項項目“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”（以下簡稱02專項）實施管理辦公室組織專家對“32納米以下設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)研究及創(chuàng)新設(shè)備技術(shù)探索”項目進(jìn)行了驗收。02專項總體組技術(shù)副總師王曦院士，中科院微電子所所長葉甜春、副所長劉新宇等出席了會議，專家組成員、項目相關(guān)科研和管理人員共70余人參加了驗收會。 

　　該項目由中科院微電子所牽頭，合作單位包括清華大學(xué)、中科院光電技術(shù)研究所、無錫華瑛微電子技術(shù)有限公司等，主要進(jìn)行新原理設(shè)備研發(fā)工作，取得了如下成果：研制了8臺原理樣機(jī)；開發(fā)了與新原理設(shè)備相適應(yīng)的配套工藝，包括超淺結(jié)制造注入工藝，超淺摻雜退火工藝，高K柵介質(zhì)制作技術(shù)，無損傷、高效、低排放、節(jié)水清洗工藝，超精細(xì)和低損傷刻蝕工藝，無掩模光刻技術(shù)工藝，超臨界化學(xué)清洗工藝及常壓等離子體去膠工藝等關(guān)鍵工藝；建立了32納米關(guān)鍵技術(shù)及創(chuàng)新設(shè)備試驗平臺，面向社會開展了技術(shù)共享和服務(wù)；申請專利302項，其中國內(nèi)發(fā)明專利259項（授權(quán)77項）、實用新型專利12項、外觀專利12項、國際專利19項，計算機(jī)軟件登記7項；翻譯著作1部；獲得北京市科學(xué)技術(shù)獎2項。 

　　驗收會上，專家組認(rèn)真聽取了項目和課題負(fù)責(zé)人關(guān)于項目完成情況的匯報，現(xiàn)場審閱了科研、財務(wù)等驗收材料，實地考察了項目研發(fā)平臺。經(jīng)過充分討論、質(zhì)詢和評議，專家組對項目取得的研究成果給予高度評價，一致認(rèn)為該項目驗收文檔齊全，各項功能和指標(biāo)均達(dá)到項目任務(wù)書要求，同意通過項目驗收。

驗收會現(xiàn)場

實地考察項目研發(fā)平臺