近日，“中國科學院微電子器件與集成技術(shù)重點實驗室”被批準正式成立，標志著我所“微電子器件與集成技術(shù)重點實驗室” 正式升級為院重點實驗室。

　　2008年10月，院計財局和高技術(shù)局組織專家組對我所 “微電子器件與集成技術(shù)重點實驗室”進行了現(xiàn)場評審。專家組聽取了實驗室主任葉甜春、副主任夏洋及劉明、劉新宇、韓鄭生、賈銳等研究員的工作報告和學術(shù)報告，并進行了現(xiàn)場考察，經(jīng)認真討論后認為：實驗室研究方向及目標明確，符合中國科學院總體學科布局、研究所定位和相關(guān)學科的發(fā)展態(tài)勢；在微電子前沿工藝、新器件和新設(shè)備等方面取得了一系列重大成果；形成了一支結(jié)構(gòu)合理、協(xié)作精神好、創(chuàng)新能力強的科研隊伍；對外合作交流活躍，組織開展了多項實質(zhì)性的國際、國內(nèi)合作，與國內(nèi)外多所知名大學、研究機構(gòu)、企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系；已按照院重點實驗室的要求建立了健全的規(guī)范管理制度和運行機制。最后，專家組一致認為該實驗室已具備建設(shè)中科院重點實驗室的條件。

　　2008年11月，根據(jù)新建院重點實驗室的要求，院計財局會同全院四個專業(yè)局在現(xiàn)場評審的基礎(chǔ)上又對實驗室進行了綜合評審，葉甜春所長、吳德馨院士、夏洋研究員、劉明研究員等到會進行了答辯。此次參加答辯的院內(nèi)實驗室共有34個，按三分之一的比例淘汰，競爭激勵，我所實驗室在答辯中表現(xiàn)優(yōu)異，順利通過綜合評審。

　　微電子器件與集成技術(shù)重點實驗室是我所第一個中科院重點實驗室，實驗室升級成功后將繼續(xù)整合科研成果，形成一個目標明確、相互促進的有機整體，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)的，從材料、工藝到電路和設(shè)備應用的完整的微電子創(chuàng)新價值鏈，形成從科學研究、技術(shù)創(chuàng)新到工程應用的綜合解決方案，建立微電子工藝技術(shù)研制的開放性平臺，提供代表性產(chǎn)品，并取得一批具有自主知識產(chǎn)權(quán)的創(chuàng)新性成果。同時，帶動多學科領(lǐng)域的發(fā)展，造就一支國際水平的創(chuàng)新團隊，為我國相關(guān)領(lǐng)域可持續(xù)發(fā)展和創(chuàng)新跨越奠定基礎(chǔ)，也為我所人才引進培養(yǎng)、學術(shù)交流合作、學風建設(shè)作出更大的貢獻。

　　實驗室主任葉甜春研究員向?qū)＜医榻B實驗室成果之一——常壓等離子體技術(shù)