經(jīng)過兩年的艱苦努力，我所一室CMOS工藝線全體員工克服了經(jīng)費(fèi)短缺、設(shè)備老化、人員不足的困難，使新的CMOS平臺從無到有，初具規(guī)模，并于日前成功完成北京奇攀微電子公司第一批４英寸CMOS器件產(chǎn)品訂單。首批交付產(chǎn)品經(jīng)對方檢驗(yàn)，性能指標(biāo)良好，完全達(dá)到驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。全部產(chǎn)品訂單完成后，合同標(biāo)的總額可達(dá)３２０萬以上。此項(xiàng)工作的順利完成，標(biāo)志著一室CMOS工藝平臺調(diào)試工作達(dá)到了一個(gè)新的階段。

　　ＣＭＯＳ工藝線全體職工盡心盡責(zé)，徐秋霞研究員嚴(yán)把每道工序的質(zhì)量關(guān)，親自檢驗(yàn)；石莎莉、王文武博士跟單流片，下到一線操作設(shè)備；盧狄克、歐毅博士加班加點(diǎn)，保證注入機(jī)和Al濺射臺的正常運(yùn)行；董立軍、李詢、董德凱負(fù)責(zé)高溫、柵氧、退火等多道CVD和高溫工藝的穩(wěn)定可靠；劉輝、王燕鵲保質(zhì)保量地完成了光刻、顯影工作；廉永梅、楊寶亮等同志克服場地狹小、設(shè)施簡陋等困難，按時(shí)完成了清洗、柵氧腐蝕、濕法刻鋁、測試等工作。除此之外，外聯(lián)和后勤工作也得到了大力支持，張國歡積極與奇攀公司進(jìn)行聯(lián)絡(luò)，落實(shí)訂單；資產(chǎn)處郭建剛保證了各種消耗材料的及時(shí)供應(yīng)。

　　和國內(nèi)其他大型生產(chǎn)線相比，一室CMOS工藝線還是一條相對簡陋的科研型工藝線，但是，該批訂單的完成標(biāo)志著微電子所前工藝線在經(jīng)過和上華公司的合并、重組后，終于浴火重生，成功嬗變，在所領(lǐng)導(dǎo)和兄弟部門的支持下，重新建立起了一只敢打硬仗、能打硬仗的隊(duì)伍。隨著十一五國家重大專項(xiàng)的即將啟動(dòng)，該平臺必將成為微電子所十一五申請國家重大專項(xiàng)的基礎(chǔ)科研平臺。