由微電子所承擔(dān)的的973項(xiàng)目“新一代化合物半導(dǎo)體電子器件與電路研究”06子課題“高性能系統(tǒng)集成模塊中的新型互連研究”經(jīng)過研究團(tuán)隊(duì)將近兩年的努力，目前取得了突破性進(jìn)展。該項(xiàng)目由微電子所微波器件與集成電路研究室的武錦助理研究員負(fù)責(zé)，主要是研究新型結(jié)構(gòu)的空間功率合成模塊，將傳統(tǒng)的平面合成技術(shù)改進(jìn)為波導(dǎo)基的立體空間功率合成技術(shù)。研究制作實(shí)現(xiàn)了C波段2*4層空間功率合成模塊。

　　圖1  C波段2*4層空間功率合成模塊示及其對(duì)應(yīng)的單層結(jié)構(gòu)示意圖

　　將該模塊放置在搭建成功的功率測(cè)試系統(tǒng)中，在4.35GHz下的功率輸出特性實(shí)測(cè)結(jié)果為：2*4層功率合成模塊的飽和輸出功率為46.82dBm( 48.08W)，線性增益為9.5dB，PAE約為26%，合成效率達(dá)到75%。2*4層空間功率合成模塊不同頻率下（3.7GHz-4.4GHz），在下所對(duì)應(yīng)的輸出功率，可以得到模塊在整個(gè)頻率范圍內(nèi)（3.7GHz-4.4GHz）的輸出功率均大于20W（43dBm），下一步課題研究重點(diǎn)將集中在X波段的空間功率合成模塊的實(shí)現(xiàn)上。

　　圖2  2*4層空間功率合成模塊在4.35GHz下輸出功率和增益隨輸入功率的變化曲線

　　圖3  2*4層空間功率合成模塊在下不同頻率下對(duì)應(yīng)的輸出功率曲線

　　該測(cè)試結(jié)果全面完成了06課題的指標(biāo)要求，是目前國(guó)內(nèi)制作實(shí)現(xiàn)的C波段最高輸出功率的空間功率合成模塊。更為重要的是該項(xiàng)目的研究成功使微電子所在空間功率合成技術(shù)的研究中處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先地位，對(duì)于國(guó)內(nèi)毫米波功率合成技術(shù)的發(fā)展起到了重要的推動(dòng)作用。