據(jù)09年度國家自然基金項(xiàng)目情況通報(bào)，微電子所在2008年的國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目的結(jié)題評(píng)審中，共有5個(gè)面上項(xiàng)目收到評(píng)估結(jié)果。其中徐秋霞研究員的“亞50納米金屬柵體硅多柵CMOS器件及關(guān)鍵技術(shù)研究”被評(píng)為“特優(yōu)”。王叢舜副研究員的“基于射頻單電子晶體管的微納機(jī)械器件研究”和李俊峰研究員的“SOI射頻SOC的集成器件及工藝基礎(chǔ)研究”被評(píng)為“優(yōu)”。仇玉林研究員的“RF CMOS 無線接收機(jī)新結(jié)構(gòu)研究”和陳大鵬研究員的“懸臂梁微尖端陣列器件加工及應(yīng)用技術(shù)研究”被評(píng)為“良”。　　　　　　　　　　

　　由于國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目評(píng)審一貫注重“績效掛鉤”原則，強(qiáng)調(diào)資助的連續(xù)性和績效性，項(xiàng)目主持人在上一個(gè)項(xiàng)目結(jié)題時(shí)被評(píng)為“特優(yōu)”，下一次申請(qǐng)項(xiàng)目時(shí)會(huì)受到一定的獎(jiǎng)勵(lì)，例如把評(píng)級(jí)上提一級(jí)，或加大資助強(qiáng)度。所以此次徐秋霞研究員的項(xiàng)目結(jié)題評(píng)估取得的好成績，也是對(duì)其科研業(yè)務(wù)水平的充分肯定，更是其高度重視項(xiàng)目的研究質(zhì)量、重視項(xiàng)目結(jié)題工作的努力結(jié)果。

　　另外，在2009年微電子所申請(qǐng)的國家自然基金項(xiàng)目中，共有7個(gè)項(xiàng)目獲得了資助，其中韓鄭生研究員獲得了120萬專項(xiàng)基金資助。

　　兩年來微電子所在國家自然基金項(xiàng)目立項(xiàng)上不斷實(shí)現(xiàn)歷史性突破，爭(zhēng)取到了自然基金重大項(xiàng)目，充分證明了微電子所的科研實(shí)力正在不斷的穩(wěn)步發(fā)展，這也對(duì)進(jìn)一步促進(jìn)微電子所科研水平向更深層面發(fā)展起到積極的推動(dòng)作用。