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| 第一作者所在部門: | |
| 論文題目: | 基于精簡標準單元庫的OPC復(fù)用技術(shù) |
| 論文題目英文: | |
| 作者: | 焦海龍，陳嵐，李志剛，楊清華，葉甜春 |
| 論文出處: | |
| 刊物名稱: | 《半導(dǎo)體學(xué)報》 |
| 年: | 2008 |
| 卷: | 29 |
| 期: | 5 |
| 頁: | 1016-1021 |
| 聯(lián)系作者: | 焦海龍 |
| 收錄類別: | |
| 影響因子: | |
| 摘要: | 提出了一種對標準單元的光學(xué)鄰近效應(yīng)校正結(jié)果進行復(fù)用的方法，并通過將傳統(tǒng)標準單元中的所有核心邏輯通過反相器和二選一多路選擇器的組合來實現(xiàn)，得到了一套可制造性強的精簡標準單元庫，從而使OPC 復(fù)用技術(shù)得以有效實施，并將在很大程度上提高芯片生產(chǎn)效率和降低掩模數(shù)據(jù)存儲量。精簡標準單元庫中單元的電氣仿真結(jié)果表明其在面積、速度、功耗方面與傳統(tǒng)標準單元庫相比性能損失很小。 |
| 英文摘要: | |
| 外單位作者單位: | |
| 備注: | |
科研產(chǎn)出