最新精品国偷自产在线美女足_国产午夜精华无码网站_天天爱天天做狠狠久久做_国产片免费福利片永久_欧美国产成人精品一区二区三区

針對X射線透射光柵攝譜儀中的高線密度光柵,研究了采用電子束曝光和X射線曝光技術(shù)結(jié)合制作高線密度X射線透射光柵的工藝技術(shù)。首先利用電子束曝光和微電鍍技術(shù)在鏤空的薄膜上制備母光柵X射線掩模版,然后利用X射線曝光和微電鍍技術(shù)小批量復(fù)制光柵。在國內(nèi)首次完成了3333 lp/mm X射線透射光柵的研制,柵線寬度為150 nm,周期為300 nm,金吸收體厚度為500 nm。衍射效率標(biāo)定的結(jié)果表明,該光柵的占空比合理、側(cè)壁陡直,具有良好的色散特性,能夠滿足空間探測、同步輻射和變等離子診斷等多個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用。