| 論文編號(hào): | |
| 第一作者所在部門(mén): | |
| 論文題目: | 光譜式MEMS/CMOS兼容氣敏傳感器 |
| 論文題目英文: | |
| 作者: | 高超群，焦斌斌，劉茂哲，李全寶，楊 鍇，石莎莉，李志剛，歐毅，景玉鵬，陳大鵬 |
| 論文出處: | |
| 刊物名稱: | 《半導(dǎo)體學(xué)報(bào)》 |
| 年: | 2008 |
| 卷: | 29 |
| 期: | 10 |
| 頁(yè): | 2043-2049 |
| 聯(lián)系作者: | 高超群 |
| 收錄類別: | |
| 影響因子: | |
| 摘要: | 光譜技術(shù)是化學(xué)分析的終極手段. 將光譜技術(shù)與MEMS (micro-electro-mechanical systems）和CMOS技術(shù)結(jié)合是解決當(dāng)前氣敏傳感器靈敏度低、選擇性差、體積大、功耗高、不便于陣列化和高度集成以至于無(wú)梯度立體矢量探測(cè)能力等問(wèn)題的有效手段. 本文介紹了一種制作于（110）硅片上的集成光譜式MEMS/CMOS兼容氣敏傳感器，詳述了該氣敏傳感器的工作原理、傳感器結(jié)構(gòu)和制造工藝. |
| 英文摘要: | |
| 外單位作者單位: | |
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科研產(chǎn)出