論文編號(hào): | 1725110120160352 |
第一作者所在部門: | |
論文題目: | A combined wafer bonding method using spin-coated water glass adhesive layer and spot pressing bonding technique |
論文題目英文: | |
作者: | 徐楊 |
論文出處: | |
刊物名稱: | Proceedings of 2016 International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology |
年: | 2016 |
卷: | |
期: | 1 |
頁(yè): | S16-4 |
聯(lián)系作者: | 王盛凱 |
收錄類別: | |
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英文摘要: | |
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備注: | |
科研產(chǎn)出