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論文編號: 1725110120160255
第一作者所在部門:
論文題目: Integration of Selective Epitaxial Growth of SiGe/Ge layers in 14nm Node FinFETs
論文題目英文:
作者: 王桂磊
論文出處:
刊物名稱: ECS Transactions
: 2016
: 75
: 8
: 273
聯(lián)系作者: 王桂磊
收錄類別:
影響因子:
摘要:
英文摘要:
外單位作者單位:
備注: