| 論文編號(hào): | 1725110120160246 |
| 第一作者所在部門: | |
| 論文題目: | Gate patterning in 14 nm and beyond nodes: from planar devices to three dimensional Finfet devicesLingkuan |
| 論文題目英文: | |
| 作者: | 孟令款 |
| 論文出處: | |
| 刊物名稱: | Applied Surface Science |
| 年: | 2016 |
| 卷: | |
| 期: | 362 |
| 頁(yè): | 483 |
| 聯(lián)系作者: | 孟令款 |
| 收錄類別: | |
| 影響因子: | |
| 摘要: | |
| 英文摘要: | |
| 外單位作者單位: | |
| 備注: | |
科研產(chǎn)出