| 論文編號: | 1725110120160244 |
| 第一作者所在部門: | |
| 論文題目: | Analysis of multi-e-beam lithography for cutting layers at 7-nm node |
| 論文題目英文: | |
| 作者: | 趙利俊 |
| 論文出處: | |
| 刊物名稱: | Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS |
| 年: | 2016 |
| 卷: | 15 |
| 期: | 4 |
| 頁: | 043501-1 |
| 聯(lián)系作者: | 韋亞一 |
| 收錄類別: | |
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| 英文摘要: | |
| 外單位作者單位: | |
| 備注: | |
科研產(chǎn)出