論文編號: | 1725110120160201 |
第一作者所在部門: | |
論文題目: | FOI FinFET with Ultra-low Parasitic Resistance Enabled by Fully Metallic Source and Drain Formation on Isolated Bulk-Fin |
論文題目英文: | |
作者: | 張青竹 |
論文出處: | |
刊物名稱: | IEDM |
年: | 2016 |
卷: | |
期: | 1 |
頁: | 1 |
聯(lián)系作者: | 殷華湘 |
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備注: | |
科研產(chǎn)出