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論文編號(hào): 1725110120160199
第一作者所在部門(mén):
論文題目: 小尺寸器件的金屬柵平坦化新技術(shù)
論文題目英文:
作者: 趙治國(guó)
論文出處:
刊物名稱(chēng): 真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)
: 2016
: 36
: 9
頁(yè): 1030
聯(lián)系作者: 趙治國(guó),殷華湘
收錄類(lèi)別:
影響因子:
摘要:
英文摘要:
外單位作者單位:
備注: