論文編號(hào): | 1725110120160199 |
第一作者所在部門(mén): | |
論文題目: | 小尺寸器件的金屬柵平坦化新技術(shù) |
論文題目英文: | |
作者: | 趙治國(guó) |
論文出處: | |
刊物名稱(chēng): | 真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào) |
年: | 2016 |
卷: | 36 |
期: | 9 |
頁(yè): | 1030 |
聯(lián)系作者: | 趙治國(guó),殷華湘 |
收錄類(lèi)別: | |
影響因子: | |
摘要: | |
英文摘要: | |
外單位作者單位: | |
備注: | |
科研產(chǎn)出