1986年9月-1992年2月,中國科學院微電子中心,助理工程師
1992年2月-1993年7月,日本理化學研究所,訪問學者
1993年7月-2001年5月,中國科學院微電子中心(工程師、副研究員、研究員,課題組長、研究室副主任)
2001年6月-2007年7月,中國科學院微電子研究所,副所長
2007年7月 - 2020年9月,中國科學院微電子研究所,所長,中國科學院EDA中心,常務(wù)副理事長
長期從事集成電路制造技術(shù)、新型器件及微細加工技術(shù)領(lǐng)域的研究工作,作為課題負責人和核心骨干完成了國家“七五”至“十五”攻關(guān)、攀登計劃、863、973、中科院知識創(chuàng)新工程等十幾項科研課題的研究任務(wù),在深亞微米及納米加工技術(shù)、超高頻化合物半導體器件研究、新型器件等方面取得多項具有國內(nèi)領(lǐng)先或國際先進水平的科研成果。
獲得國家科技進步二等獎1項
中國科學院科技進步二等獎2項
北京市科技進步一等獎2項
榮獲得國家“八五”科技攻關(guān)先進個人
中國科學院青年科學家獎和優(yōu)秀青年稱號
人才隊伍