教育背景
2007.09-2011.07，北京大學(xué)，信息科學(xué)與技術(shù)學(xué)院微電子學(xué)系，研究生/博士學(xué)位
2004.09-2007.07，中北大學(xué)，電子科學(xué)與技術(shù)系，研究生/碩士學(xué)位
2000.09-2004.07，中北大學(xué)，電子工程系，本科/學(xué)士學(xué)位
工作簡歷
2020年7月-至今，中國科學(xué)院，微電子研究所，研究員；
2013.12-2020年6月， 中國科學(xué)院，微電子研究所，副研究員；
2011.07-2013.12，中國科學(xué)院，微電子研究所，助理研究員；
中國科學(xué)院，江蘇物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心，助理研究員；
2008.09-2008.11，美國加州大學(xué)戴維斯分校，訪問學(xué)者
微納電系統(tǒng)（MEMS/NEMS）技術(shù)，CMOS-MEMS工藝平臺，紅外傳感器，微流控器件，生化傳感器。
1. 廣東省重點研發(fā)計劃，課題負責人，2019-2021，600萬；
2. 企業(yè)橫向課題，負責人，2019-2020，200萬；
3. 重點研發(fā)計劃課題，課題負責人，2019.6-2022.6，257萬；
4. 國家重大專項XX項目，課題負責人，2019-2021，200萬；
5. 中國科學(xué)院青促會項目，2018-2021，80萬；
6. 國家自然科學(xué)基金面上項目，負責人，2018-2021，62萬；
7. 科技創(chuàng)新項目，課題負責人，2017-2020，130萬；
8. 擔國家自然科學(xué)基金青年基金，負責人，2015-2017，30萬；
9. 河南省科技開放合作項目，負責人，2015-2016，30萬。
1. Ruirui Li, Haiyang Mao*, Menghua Zhu, Yudong Yang, Jijun Xiong*, and Weibing Wang,“Facile preparation of Broadband Absorbers Based on Patternable Candle Soot for Applications of Optical Sensors,” Sens. Actuators A: Phys., 2018, 285, 111-117.
2. Yudong Yang, Haiyang Mao*, Jijun Xiong*, Yucong Jia, Ruirui Li, and Weibing Wang, "Optical Features of Nanowire Forests Prepared by A Plasma Repolymerization Technique," IEEE Transactions on Nanotechnology, 2018, 17(4), 719-722.
3. Haiyang Mao*, Chengjun Huang, Wengang Wu, Mei Xue, Yudong Yang, Jijun Xiong, Anjie Ming and Weibing Wang, “Wafer-level Fabrication of Nanocone Forests by Plasma Repolymerization Technique for Surface-enhanced Raman Scattering Devices,” Applied Surface Science, 2017,396,1085-1091.
4. Wengang Wu, Haiyang Mao, Xiang Han, Jun Xu, and Weibing Wang, “Fabrication and characterization of SiO2/Si heterogeneous nanopillar arrays,” Nanotechnology, 2016, 27, 305301(9pp).
5. Haiyang Mao, Wengang Wu, Didi She, Gongchen Sun, Pengpeng Lv, and Jun Xu, “Microfluidic Surface-Enhanced Raman Scattering Sensors Based on Nanopillar Forests Realized by Oxygen-Plasma-Stripping-of-Photoresist Technique,” Small , 2014, 10(1), 127-134
6. Mao H*, Yuanjing Chen, Yi Ou, Wen Ou, Jijun Xiong, Chunjuan You, Qiulin Tan, and Dapeng Chen, “Fabrication of Nanopillar Forests with High Infrared Absorptance Based on Rough Poly-Si and Spacer Technology,” J. Micromech. Microeng., 23 (2013), 095033.
7. Yuanjing Chen, Haiyang Mao*, Qiulin Tan, Chenyang Xue, Wen Ou,Jin Liu, Dapeng Chen, “Fabrication of polyimide sacrificial layers with inclined sidewalls based on RIE technology,” AIP Advances, 4, 031328, 2014.
8. Haiyang Mao, Di Wu, Wengang Wu, Jun Xu and Yilong Hao, “Fabrication of Diversiform Nanostructure Forests Based on Residue Nanomasks Synthesized by Oxygen Plasma Removal of Photoresist,” Nanotechnology, 2009, 20, 445304.
9. Haiyang Mao, Wengang Wu, Yulong Zhang, Ge Zhai and Jun Xu, “Fabrication of High-Compact Nanowires Using Alternating Photoresist Ashing and Spacer Technology,” Journal of Micromechanics and Microengineering, 20, 085029, 2010.
10. Haiyang Mao, Yulong Zhang, Wengang Wu, Gongchen Sun, and Jun Xu, “Realization of cylindrical submicron shell arrays by diffraction-introduced photolithography,” Journal of Micromechanics and Microengineering, 21, 085004, 2011.
11. BAO AiDa , MAO HaiYang*, XIONG JiJun, CHEN ZhuoJie, OU Wen& CHEN DaPeng, “Nanopillar-forest based surface-enhanced Raman scattering substrates,” Science China: Information Sciences, 57, 2014, 082407:1–082407:8.
12. Ruirui Li, Bo Gui, Haiyang Mao*, Yudong Yang, Hao Yang, Jijun Xiong, Weibing Wang, "A Crystal-clear SERS-droplet with Evenly Distributed 3D hot-spots," The 32nd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical System (IEEE MEMS 2019), Seoul, Korea, 27-31 January 2019, pp. 392-395
13. Ruirui Li, Haiyang Mao*, Guidong Chen, Jijun Xiong*, and Weibing Wang, "A Highly Sensitive SERS Device Based on A PDMS-CVD Prepared Substrate," IEEE SENSORS 2018, New Delhi, India, India, 28-31 Oct. 2018
14. Haiyang Mao*, Ruirui Li, Chengjun Huang, Yucong Jia, Weibing Wang, Anjie Ming, and Jijun Xiong “A highly SERS-active and flexible droplet based on carbon-metal composite nanoparticles,” The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers’ 17), June 18-22, 2017, Taiwan, pp. 1344-1347.
15. Ruirui Li, Haiyang Mao*,Yudong Yang, Yuncong Jia, Huiqiong Xue, Jijun Xiong, and Weibing Wang, “Candle soot with broadband high absorptance for applications of infrared sensors,” The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers’ 17), June 18-22, 2017, Taiwan, pp. 882-885.
16. Yudong Yang, Haiyang Mao*, Yuncong Jia, Huiqiong Xue, Jijun Xiong, Weibing Wang and Binbin Jiao, “Hybrid nanopillar forests with broadband high absorptance,” The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers’ 17), June 18-22, 2017, Taiwan, pp. 1332-1335.
17. Y. Wang, L.C. Tang, H.Y. Mao*, C. Lei, W. Ou, J.J. Xiong, “Fabrication of Nanocone Forests with High Optical Absorption based on A Plasma Repolymerization Technique,” The 26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical System (IEEE MEMS 2016), Shanghai, China, January 24-28, 2016, pp.1185-1188.
18. L.C. Tang, H.Y. Mao*, Y. Wang, W. Ou, W.G. Wu, J. J. Xiong, Q. L. Tan, “Fabrication of Nanowires from Polyimide for Transparent SERS Devices,” The 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers’ 15) , Anchorage, Alaska, USA, June 21-25, 2015, pp.1397-1400.
19. C. Lei, L.C. Tang, H.Y. Mao*, Y. Wang, J.J. Xiong , W. Ou, W.B. Wang, A.J. Ming, Q.L. Tan, D.P. Chen and D. Li, “Nanofiber Forests as A Humidity-Sensitive Material,” The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical System (IEEE MEMS 2015), Estoril, Portugal, January 18-22,2015, pp.857-860.
20. Y. Wang, L.C. Tang, H.Y. Mao*, C. Lei, W. Ou, J.J. Xiong , W.B. Wang, A.J. Ming, Q.L. Tan, D.P. Chen and D. Li, “Fabrication of Patternable Nanopillars for Microfluidic SERS Devices based on Gap-Induced Uneven Etching,” The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical System (IEEE MEMS 2015), Estoril, Portugal, January 18-22,2015, pp.320-323.
21. H.Y. Mao*, C. Lei, Y. J. Chen, Z. J. Chen, W. Ou, W. G. Wu, A. J. Ming, and D. P. Chen, “Nanofiber Forests with High Infrared Absorptance,” The 24th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical System (IEEE MEMS 2014), San Francisco, USA, January 26-30,2014, pp.644-647.
22. H.Y. Mao, P.P. Lv and W.G. Wu, “Microfluidic Surface-enhanced Raman Scattering Sensors for Online Monitoring Trace Chemical Mixing and Reaction,” The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers’ 11). Bejing, China, June 5-9, 2011, pp.1970-1973.
23. H.Y. Mao, W.G. Wu, Y.L. Zhang, P.P. Lv, C. Qian, and J. Xu, “Silicon Nanopillar-Forest Based Microfluidic Surface-Enhanced Raman Scattering Devices,” The 24th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical System (IEEE MEMS 2011), Cancun, Mexico, January 23-27, 2011, 968-971.
24. Haiyang Mao, Wengang Wu, Qinghai Liu, Yulong Zhang, Yan Li, “Nanofiber-based Surface Microfluidic Structures for Cell and Nanoparticle Patterning,” The 14th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2010), Groningen, The Netherlands, October 4-7, 2010, 500-502.
25. H.Y. Mao, D. Wu, W.G. Wu, J. Xu, H.X. Zhang and Y.L. Hao, “Fabrication of Nanopillars Based on Silicon Oxide Nanopatterns Synthesized in Oxygen Plasma Removal of Photoresist,” The 22nd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical System (IEEE MEMS 2009), Sorrento, Italy, January 25-29, 2009, 677-680. (EI收錄號20092312105089)
1. 毛海央、吳文剛、吳迪、郝一龍、王陽元，一種納米柱森林的加工方法，授權(quán)專利號：ZL 200910080158，授權(quán)日：2011-01-12。
2. 毛海央、吳文剛、張煜龍、郝一龍、王陽元，一種多樣性納米結(jié)構(gòu)的加工方法，授權(quán)專利號：ZL 200910083938, 申請日：2009-05-11,授權(quán)日, 2012-01-18.
3. 毛海央、吳文剛、張煜龍、黃如、郝一龍、王陽元，一種基于表面增強拉曼散射活性基底的微流控檢測器件，授權(quán)專利號：ZL 201010117672，授權(quán)日：2012-05-30。
4. 吳文剛、毛海央、呂芃芃，微流控表面增強拉曼散射檢測器件及其制備方法與應(yīng)用，授權(quán)專利號：2011101310321.1，申請日期：2011-5-19，公告日：2012-11-21，授權(quán)日：2015-08-19.
5. 毛海央、陳媛婧、歐文，一種納米柱針森林結(jié)構(gòu)的加工方法，授權(quán)專利號：201210265870.2，申請日期：2012-7-30，公告日：2012.11.14，授權(quán)日：2014.11.05
6. 毛海央、陳媛婧、歐文、明安杰，一種高性能MEMS熱電堆紅外探測器結(jié)構(gòu)及其制備方法，授權(quán)專利號：ZL 201210303727.8，申請日期：2012.08.23，公告日：2012.11.28，授權(quán)日：2014.02.19
7. 毛海央、陳媛婧、歐文、明安杰，基于黒硅的高性能MEMS熱電堆紅外探測器及其制備方法，授權(quán)專利號：201210303746.0，申請日期：2012-8-23，公告日：2012.12.19，授權(quán)日：2014.04.16
8. 毛海央、歐文、歐毅、陳大鵬，微納尺度材料賽貝克系數(shù)的測量機構(gòu)及其制備方法，授權(quán)專利號：201310002129.1, 申請日期：2013-1-5，公告日： 2013.04.17，授權(quán)日：2014.09.24
9. 毛海央、歐文、歐毅、陳大鵬，微納尺度材料賽貝克系數(shù)測量機構(gòu)的制備方法，授權(quán)專利號：201310002846.4，申請日期：2013-1-5，公告日： 2013.04.17, 授權(quán)日：2015.03.18
10. 毛海央、歐文、吳文剛、歐毅，高性能MEMS熱電堆紅外探測器結(jié)構(gòu)及其制備方法，授權(quán)專利號：201310067012.1，申請日期：2013-3-1，公告日： 2013.07.17, 授權(quán)日：2015.02.11
11. 毛海央、吳文剛、歐文、歐毅，一種PM2.5過濾結(jié)構(gòu)及其制備方法，授權(quán)專利號：201310066827.8，申請日期：2013-3-1，公告日： 2013.07.17，授權(quán)日：2014.09.03
12. 毛海央、歐文，制熱型MEMS熱電堆紅外探測器結(jié)構(gòu)及其制備方法，授權(quán)專利號：201310183551.1，申請日期：2013-5-16，公告日：2013.08.14，授權(quán)日：2015-06-10
13. 毛海央、歐文，廚房余熱收集裝置，授權(quán)專利號：201320281936.7，申請日：2013-05-21，授權(quán)日：2013.10.30
14. 毛海央，一種微凹面鏡的制備方法，授權(quán)專利號：201310308263.4，申請日期：2013-7-22，公告日： 2013.11.20，授權(quán)日：2016-01-06
15. 毛海央、諶灼杰、歐文、吳文剛，PM2.5檢測裝置及其制造方法，授權(quán)專利號：201310400323.5，申請日期：2013-9-5，公告日： 2013.12.18,授權(quán)日:2015-09-23
16. 毛海央、胡建東、陳媛婧、王玲、歐文，基于紅外氣體傳感器的水果成熟度檢測系統(tǒng)，中國發(fā)明專利，授權(quán)專利號：201310544528.0，申請日期：2013-11-5，公告日： 2014.2.12，授權(quán)日：2015-08-26
17. 毛海央、陳媛婧、諶灼杰、歐文、陳大鵬，一種MEMS濕度傳感器及制備方法，授權(quán)專利號：201310674068.3，申請日期：2013-12-10，公告日： 2013.12.18，授權(quán)日期：2016-02-10.
18. 吳文剛、諶灼杰、毛海央，一種細顆粒物過濾結(jié)構(gòu)及其制備方法，授權(quán)專利號：201310717668.3，申請日期：2013-12-23，公告日：2014-03-26，授權(quán)日期：2016-02-10
19. 毛海央、雷程、陳媛婧、歐文、陳大鵬，食用油檢測裝置和方法，授權(quán)專利號：201410193861.6，申請日期：2014.05.08，公開日期：2014-07-23，授權(quán)日期：2017-09-29
20. 毛海央、雷程、陳媛婧、歐文、陳大鵬，氣體檢測裝置及系統(tǒng)和氣體檢測方法，授權(quán)專利號：201410234613.1 ，申請日期：2014.05.29，公開日期：2014-08-27，授權(quán)日期：2016-09-07
21. 毛海央、王巖、唐力程、雷程、歐文，納米柱/針森林結(jié)構(gòu)的圖形化加工方法，授權(quán)專利號：201410609901.0，申請日期：2014.11.03，授權(quán)日期：2015.08.12.
22. 毛海央、唐力程，一種納米結(jié)構(gòu)及其制備方法，授權(quán)專利號：201510338283.5，申請日期：2015-06-17，公開日期：2015-11-25，授權(quán)日期：2017.07.04.
23. 毛海央, 一種內(nèi)嵌式納米森林結(jié)構(gòu)及其制備方法, 授權(quán)專利號：201510808468.8，申請日期：2015-11-17，授權(quán)日期：2018.01.09.
24. 趙柱、毛海央，SERS活性液滴、制備方法及分子檢測方法，申請?zhí)枺?017011800209830，申請日期：2017-01-16
25. 趙柱、毛海央，一種紅外吸收結(jié)構(gòu)及其與紅外傳感器件的集成方法，申請?zhí)枺?01710032686.6，申請日期：2017-01-16
26. 毛海央、楊宇東，黑硅、制備工藝及基于黑硅的MEMS器件制備方法，申請?zhí)枺?01710871041.1 ，申請日期：2017-09-22
27. 楊宇東、毛海央，MEMS光學(xué)器件、光吸收納米結(jié)構(gòu)及其制備方法，申請?zhí)枺?01711218812.3，申請日期：2017-11-28
28. 毛海央、李銳銳、楊宇東，一種微流道結(jié)構(gòu)及其制備方法，申請?zhí)枺?01710750856.4，申請日期：2017-12-22
29. 毛海央、李銳銳、陳貴東，SERS活性基底及其制備方法以及痕量被測試劑分子富集方法，申請?zhí)枺?01811120124.8，申請日：2018-09-25
30. 劉洋、毛海央、楊宇東、黃成軍，一種可擴展倍比稀釋微流控芯片、制備方法和稀釋方法，申請?zhí)枺?01811480673.6，申請日：2018-12-05
31. 李銳銳、毛海央、張琛琛，表面增強拉曼散射基底、制備方法及3D富集與檢測方法，申請?zhí)枺?01910107266.9，申請日：2019-2-02
32. 楊宇東、毛海央，納米森林結(jié)構(gòu)的制備方法及納米森林結(jié)構(gòu)的調(diào)控方法，申請?zhí)枺?01910304292.0，申請日期：2019-04-16
33. 毛海央、歐文，基于黑硅的高性能MEMS熱電堆紅外探測器及其制備方法，PCT申請?zhí)枺篜CT/CN2013/000065，專利號：US9222837B2，授權(quán)日 2015年12月29日。
34. 毛海央、歐文，一種高性能MEMS熱電堆紅外探測器結(jié)構(gòu)及其制備方法，PCT申請?zhí)枺篜CT/CN2013/000064，專利號：US9117949B2，授權(quán)日 2015年8月25日。
2019.01 獲微電子所“學(xué)生最喜愛的導(dǎo)師”稱號
2018.10 獲中國科學(xué)院微電子所“第二屆科普創(chuàng)新大賽二等獎”
2017.10 入選中國科學(xué)院青年創(chuàng)新促進會會員；
2016.07 中國科學(xué)院微電子研究所“優(yōu)秀共產(chǎn)黨員”；
2015.01 中國科學(xué)院微電子器件與集成技術(shù)重點實驗室“年度先進工作者”；
2015.01 江蘇物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心“年度先進工作者”。
2014.09 中國科學(xué)院微電子研究所“尋找科研新星”優(yōu)秀獎；
2014.01 中國科學(xué)院微電子研究所“年度十佳先進工作者”；
2014.01 中國科學(xué)院微電子器件與集成技術(shù)重點實驗室“年度先進工作者”；
2014.01 江蘇物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心“年度先進工作者”。
人才隊伍