1964年4月出生于江西豐城，微電子科學(xué)與技術(shù)專家。1985年本科畢業(yè)于合肥工業(yè)大學(xué)，1988年獲該校碩士學(xué)位，1998年于北京航空航天大學(xué)獲博士學(xué)位。2000年被聘為中國(guó)科學(xué)院微電子研究所研究員和納米加工與新器件集成技術(shù)研究室主任。2008年獲得國(guó)家杰出青年基金資助?，F(xiàn)任中國(guó)科學(xué)院微電子研究所研究員、博士生導(dǎo)師。2015年當(dāng)選為中國(guó)科學(xué)院院士。
任中國(guó)真空學(xué)會(huì)第六屆理事、中國(guó)材料學(xué)會(huì)青年委員會(huì)常務(wù)理事、同時(shí)擔(dān)任中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所半導(dǎo)體材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室學(xué)術(shù)委員會(huì)委員和中國(guó)科學(xué)院物理所微加工實(shí)驗(yàn)室學(xué)術(shù)委員會(huì)副主任。
2004年獲國(guó)務(wù)院政府津貼；
國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)3項(xiàng)（2013年（排名第1）、2007年（排名第2）、2005年（排名第4））；
國(guó)家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)1項(xiàng)（2009年（排名第4））；
中國(guó)電子學(xué)會(huì)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)自然科學(xué)類一等獎(jiǎng)（2015年（排名第1））；
北京市科學(xué)技術(shù)一等獎(jiǎng)2項(xiàng)（2010年（排名第1）、2003年（排名第10））；
北京市科學(xué)技術(shù)二等獎(jiǎng)2項(xiàng)（2014年（排名第1）、2002年（排名第3））；
中國(guó)真空科技成就獎(jiǎng)（2012年）；
中科院杰出成就獎(jiǎng)（2014年（排名第8））。
人才隊(duì)伍