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當(dāng)前位置 首頁(yè) 人才隊(duì)伍
  • 姓名： 李超波
  • 性別： 男
  • 職稱： 研究員
  • 職務(wù)： 研發(fā)中心主任
  • 學(xué)歷： 工學(xué)博士
  • 電話： 010-82995651
  • 傳真： 010-82995687
  • 電子郵件： lichaobo@ime.ac.cn
  • 所屬部門(mén)： 微電子儀器設(shè)備研發(fā)中心
  • 通訊地址： 北京市朝陽(yáng)區(qū)北土城西路3號(hào)

    簡(jiǎn)　　歷：

  • 教育背景 

    1997-2001 山東大學(xué) 通信與信息系統(tǒng) 理學(xué)學(xué)士 

    2002-2007 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 微電子學(xué)與固體電子學(xué)工學(xué)博士　　 

    工作簡(jiǎn)歷 

    2007.07至今，在中國(guó)科學(xué)院微電子研究所工作，現(xiàn)為研究員、博士生導(dǎo)師、微電子儀器設(shè)備研發(fā)中心主任

    社會(huì)任職：

    研究方向：

  • 新原理納米加工工藝與裝備、MEMS制造與傳感技術(shù)、智能裝備 

    承擔(dān)科研項(xiàng)目情況：

  •  

    代表論著：

    專利申請(qǐng)：

    獲獎(jiǎng)及榮譽(yù)：