教育背景
2000-2005 中國科學院微電子研究所 博士
1996-2000 天津大學電子與信息工程學院 學士
工作簡歷
2017- 智能感知研發(fā)中心 研究員 主任
2015-2017 智能感知研發(fā)中心 研究員 副主任
2009-2014 先導工藝研發(fā)中心 副研究員 研究員 副主任
2006-2009 美國德克薩斯州大學奧斯汀分校 訪問學者
2005-2006 中國科學院微電子研究所 助理研究員
中國半導體行業(yè)協(xié)會MEMS分會理事
中國微米納米技術學會委員
中國科學院青年創(chuàng)新促進會會員
中國宇航學會光電技術專業(yè)委員會委員
MEMS傳感器設計、建模和仿真；CMOS-MEMS兼容工藝與工程化平臺整合研究；面向MEMS傳感器應用的微弱信號處理與恢復，MEMS-IC 界面電路系統(tǒng)設計與實現(xiàn)研究
1. 中國科學院戰(zhàn)略性先導科技專項（A類）“深海/深淵智能技術及海底原位科學實驗站”“深海原位智能芯片傳感器集成和應用” ，2019/1-2023/12。
2. 國家重點研發(fā)計劃項目，“微納傳感器與電路單片集成工藝技術及平臺”，2019.07-2022.06
3. 國家科技重大專項課題任務，極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝，“MEMS典型產(chǎn)品技術與設計服務平臺”；
4. 國家高技術研究發(fā)展計劃(863計劃)，“多功能硅基微納器件及系統(tǒng)的設計與制造”；
5. 中國科學院科技服務網(wǎng)絡計劃（STS計劃）項目，物聯(lián)網(wǎng)核心芯片及應用技術，2015.06-2017.06。
人才隊伍