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當前位置 首頁 人才隊伍
  • 姓名： 徐勤志
  • 性別： 男
  • 職稱： 研究員
  • 職務(wù)： 
  • 學(xué)歷： 博士
  • 電話： 010-82995746
  • 傳真： 
  • 電子郵件： xuqinzhi@ime.ac.cn
  • 所屬部門： EDA中心
  • 通訊地址： 北京市朝陽區(qū)北土城西路3號

    簡　　歷：

  • 教育背景?

    2000.9－2004.7，吉林大學(xué)，信息與計算科學(xué)，理學(xué)學(xué)士?

    2006.9－2008.7，北京化工大學(xué)，應(yīng)用數(shù)學(xué)，理學(xué)碩士?

    2008.9－2011.7，北京化工大學(xué)，化學(xué)工程與技術(shù)，工學(xué)博士?

    工作簡歷?

    2010年7月至今，中國科學(xué)院微電子研究所，主要從事納米集成電路可制造性設(shè)計、化學(xué)機械研磨多物理仿真和集成芯片多物理場仿真技術(shù)研發(fā)；?

    2004-2006年，主要從事數(shù)據(jù)采集裝置軟硬件研發(fā)、銷售及行政工作。?

    社會任職：

  • Langmuir, Soft Matter, JPC , IEEE TSM, IEEE TCAD, JSS, JEM, JAP等期刊審稿人

    研究方向：

  • 集成芯片多物理場仿真與EDA，納米集成電路可制造性設(shè)計，化學(xué)機械研磨多尺度多物理仿真，高分子材料構(gòu)性關(guān)系理論和模擬方法

    承擔科研項目情況：

  • 主持和參與了01、02國家科技重大專項子課題、國家自然科學(xué)基金、中科院先導(dǎo)A類項目、北京市科技創(chuàng)新基地培育與發(fā)展工程子專項、企業(yè)橫向課題等近20項。

    代表論著：

  • 1.?Qinzhi Xu, Lan Chen, and He Cao, ECS J. Solid State Sci. Technol. 8 (12) P821-P832 (2019).（SCI, IF=1.808）?

    2. Qinzhi Xu, Lan Chen, Jianyun Liu, and He Cao, ECS J. Solid State Sci. Technol. 8 (6) P370-P378 (2019).（SCI, IF=1.808）?

    3. Qinzhi Xu, Lan Chen, Fei Yang, and He Cao, Langmuir 34, 11612-11628 (2018).（SCI, IF=3.789）?

    4. Qinzhi Xu, Fei Yang, Lan Chen, and He Cao, Int. J. Preci. Eng. Manuf. 19, 1585-1595 (2018).（SCI, IF=1.661）?

    5. Lan Chen, Qinzhi Xu, Fei Yang, Yan Sun, and Hongwei Liu, ECS J. Solid State Sci. Technol. 7, P529-P536 (2018).（SCI, IF=1.808）?

    6. Qinzhi Xu, Lan Chen, Fei Yang, and He Cao, Microelectron. Eng. 183-184, 1-11 (2017).（封面文章, SCI, IF=2.02）?

    7. Qinzhi Xu and Lan Chen, Polymer 105, 51-63 (2016).（SCI, IF=3.483）?

    8. Qinzhi Xu, Yancong Feng, and Lan Chen, Soft Matter 12, 1385-1400 (2016).（封面文章, SCI, IF=3.709）?

    9. Ziwei Yang, Qinzhi Xu, and Lan Chen, IEEE Trans. Compon. Packag. Manuf. Technol. 6, 177-184 (2016). ( SCI, IF=1.66)?

    10. Qinzhi Xu, Lan Chen, and Jingjing Fang, Microelectron. Eng. 149, 14-24 (2015). (SCI, IF=2.02)?

    11. Qinzhi Xu and Lan Chen, ECS J. Solid State Sci. Technol. 4, P101-P107 (2015).（SCI, IF=1.808）?

    12. Qinzhi Xu and Lan Chen, Jingjing Fang and Fei Yang, Microelectron. Eng. 131, 58-67 (2015).（SCI, IF=2.02）?

    13. Xin Wang, Shui Wang, Qinzhi Xu, and Jianguo Mi, J. Phys. Chem. B 119, 1660-1668 (2015).（SCI, IF=3.146）?

    14. Qinzhi Xu, and Lan Chen, ECS J. Solid State Sci. Technol. 3, P60-P74 (2014).（SCI, IF=1.808）?

    15. Qinzhi Xu, Mengjin Xu, Yancong Feng, and Lan Chen, J. Chem. Phys. 141, 204901 (2014).（SCI, IF=2.843）?

    16. Qinzhi Xu, and Lan Chen, J. Chem. Phys. 140, 234901 (2014).（SCI, IF=2.843）?

    17. Qinzhi Xu, and Lan Chen, J. Electron. Mater. 42, 2630-2640 (2013).（SCI, IF=1.566）?

    18. Qinzhi Xu, Jianguo Mi, and Chongli Zhong, J. Chem. Phys. 133, 174104 (2010).（SCI, IF=2.843）?

    19. Qinzhi Xu, Jianguo Mi, and Chongli Zhong, Ind. Eng. Chem. Res. 49, 4914-4922 (2010).（SCI, IF=3.141）?

    20. Qinzhi Xu, Jianguo Mi, and Chongli Zhong, Macromolecules 42, 2826-2830 (2009).（SCI, IF=5.914）?

    21. Qinzhi Xu, Jianguo Mi, and Chongli Zhong, J. Chem. Phys. 128, 214508 (2008).（SCI, IF=2.843）

    22. Qinzhi Xu*, Lan Chen, Jianyun Liu, and He Cao, ECS J. Solid State Sci. Technol. 9 074002 (2020).（SCI, IF=2.2）

    23. Qinzhi Xu*, Lan Chen, He Cao, and Jianyun Liu, ECS J. Solid State Sci. Technol. 10?054003 (2021).（SCI, IF=2.2）

    24. Qinzhi Xu*, He Cao and Jianyun Liu, ECS. J. Solid State Sci. Technol. 11, 114001 (2022). (SCI, IF=2.2)

    25. Qinzhi Xu*, He Cao and Jianyun Liu, ECS. J. Solid State Sci. Technol. 12 024004 (2023). (SCI, IF=2.2)

    26. Chuanjun Nie, Qinzhi Xu*, and Lan Chen, Microelectron. Reliab., 137 114790 (2022).（SCI, IF=1.6）

    27. Chuanjun Nie, Qinzhi Xu*, Chenghan Wang, He Cao, Jianyun Liu and Zhiqiang Li, Appl. Therm. Eng. 229 120609 (2023) . (SCI, IF=6.465)

    28. Chenghan Wang, Qinzhi Xu*, Chuanjun Nie, He Cao, Jianyun Liu and Zhiqiang Li, Microelectron. Reliab. 146 115006 (2023). (SCI, IF=1.6)

    29. Chenghan Wang, Qinzhi Xu*, Chuanjun Nie, He Cao, Jianyun Liu and Zhiqiang Li, IEEE Trans. Very Large Scale Integr. Sys. 32 (1) 178-189 (2024). (SCI, IF=2.8)

    專利申請：

  • 以第一發(fā)明人申請專利近50項，已授權(quán)30余項。

    1. 徐勤志，陳嵐，阮文彪，葉甜春，基于淺溝道隔離技術(shù)的化學(xué)機械研磨終點檢測方法及系統(tǒng)，北京，ZLCN201110335135.X。

    2. 徐勤志，陳嵐，鋁柵CMP化學(xué)反應(yīng)動力學(xué)仿真及版圖設(shè)計優(yōu)化方法，北京，ZLCN201210581850.6。

    3. 徐勤志，陳嵐，一種芯片表面形貌仿真的方法及裝置，ZL201310092423.6.

    4. 徐勤志，方晶晶，陳嵐，計算晶圓表面研磨去除率的方法，北京，ZLCN201210458982.X。

    5. 徐勤志，陳嵐，方晶晶，一種鋁柵CMP協(xié)同計算模型的仿真及優(yōu)化方法，北京，ZLCN201210581845.5。

    6. 徐勤志，陳嵐，一種可制造性設(shè)計仿真器設(shè)計方法及系統(tǒng)，ZL201610052912.2。專利近50項，已授權(quán)30余項。部分代表性授權(quán)專利：


    獲獎及榮譽：

  • 2018年北京市科學(xué)技術(shù)獎三等獎（排名第六）?

    2018年中國電子學(xué)會科學(xué)技術(shù)獎二等獎（排名第三）