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當(dāng)前位置 首頁 人才隊(duì)伍
  • 姓名： 高建峰
  • 性別： 男
  • 職稱： 副研究員
  • 職務(wù)： 
  • 學(xué)歷： 
  • 電話： 010-82995784
  • 傳真： 010-82995783
  • 電子郵件： gaojianfeng@ime.ac.cn
  • 所屬部門： 集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心
  • 通訊地址： 集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心

    簡　　歷：

  • 教育背景

    2002/9 --- 2005/4 北京科技大學(xué) 材料學(xué) 碩士

    1998/9 ---2002/7 中國礦業(yè)大學(xué) 材料科學(xué)與工程 本科

    工作簡歷

    2012.05 --- 至今 中國科學(xué)院微電子研究所

    2005.04 --- 2012.4 中芯國際集成電路制造(北京)有限公司

    社會(huì)任職：

    研究方向：

  • 先進(jìn)IC制造中新材料和新結(jié)構(gòu)器件的薄膜工藝研發(fā)

    承擔(dān)科研項(xiàng)目情況：

  • 國家02科技重大專項(xiàng)，“極大規(guī)模集成電路裝備及成套工藝”子課題“22 nm平面器件”

    國家02科技重大專項(xiàng)，“極大規(guī)模集成電路裝備及成套工藝”子課題“16/14nm FinFET器件”

    國家02科技重大專項(xiàng)的子課題：面向45-22nm 銅互連的PVD設(shè)備的工藝模塊開發(fā)

    國家重大科技專項(xiàng)， ET-SOI器件與關(guān)鍵工藝研究

    中國科學(xué)院項(xiàng)目: “功能器件晶圓級(jí)檢測與性能表征”

    此外，承擔(dān)多項(xiàng)企業(yè)重大橫向開發(fā)項(xiàng)目

    代表論著：

    專利申請：

    獲獎(jiǎng)及榮譽(yù)：

  • 2013年度微電子研究所先進(jìn)工作者

    2015年度微電子研究所優(yōu)秀員工

    2016年度微電子研究所優(yōu)秀員工