教育背景
2002.9–2006.6中科院物理所凝聚態(tài)物理理學(xué)博士
1999.9–2002.7中南大學(xué)材料科學(xué)與工程工學(xué)碩士
1994.9–1998.7中南大學(xué)材料科學(xué)與工程工學(xué)學(xué)士
工作簡歷
2006年加入中科院微電子研究所，從事光互連技術(shù)及先進封裝技術(shù)的研究；
2011-2012獲中科院公派留學(xué)美國喬治亞理工學(xué)院從事RoF研究工作；
2013雙跨至華進半導(dǎo)體公司，負責(zé)先進封裝測試技術(shù)研發(fā)；
2015年8月加入微電子所先導(dǎo)中心，負責(zé)微電子所硅光子平臺技術(shù)的研發(fā)，基于微電子所CMOS工藝線開發(fā)了成套硅光子工藝庫、器件庫以及PDK，于2017年5月發(fā)布了國內(nèi)第一個8英寸硅光子平臺，并開展面向國內(nèi)外硅光子研究和產(chǎn)品開發(fā)的MPW流片服務(wù)和定制化工藝服務(wù)，致力于建立世界一流的硅光子工藝平臺。
國家863課題“高速芯片之間光互連技術(shù)與試驗平臺”，已完成
國家重大專項子課題 “封裝基板核心技術(shù)研發(fā)” ，已完成
國家重大專項任務(wù) “硅基光互連后道工藝及耦合封裝技術(shù)研究” ，在研
中科院集成電路創(chuàng)新院項目“無人駕駛汽車用光子集成激光雷達”，在研
1. B. Li, B. Tang, P. Zhang, J. Yu, X. Liu, and Z. Li, "Optimized fabrication of wafer-level Si waveguides based on 200？mm CMOS platform," Optik 172, 777-782 (2018).
2. 劉若男, 李志華, 李彬, 唐波, 張鵬, 余金中, and 吳次南, "硅基狹縫脊形波導(dǎo)的幾何尺寸對光場分布的影響," 電子科技 31, 55-59 (2018).
3. 劉道群, 李志華, 馮俊波, 唐波, 張鵬, and 王桂磊, "高性能波導(dǎo)集成型鍺pin光電探測器的制備," 微納電子技術(shù) 55, 305-311 (2018).
4. Zhihua Li, Jiang Yan,Bo Tang, et al. "Silicon photonics process development based on a 200-mm CMOS platform"，Proc. SPIE 10027, Nanophotonics and Micro/Nano Optics III, 1002706 (October, 2016); doi:10.1117/12.2245513.
“一種多路并行光電模塊裝配方法” 授權(quán)公告號: CN101907753B
“一種接收有源區(qū)位于斜面上的光電探測器的制造方法” 授權(quán)公告號: CN 101383388B
“一種斜面光接收的光電探測器” 授權(quán)公告號: CN 100544039 B
“一種光電互聯(lián)裝置及其裝配方法” 授權(quán)公告號: CN104216077B
2017年度微電子研究所科研成果獎二等獎
2017年度微電子所“先進工作者”
人才隊伍