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當前位置 首頁 人才隊伍
  • 姓名： 齊月靜
  • 性別： 女
  • 職稱： 研究員
  • 職務(wù)： 副主任
  • 學(xué)歷： 博士
  • 電話： 82995930
  • 傳真： 
  • 電子郵件： qiyuejing@ime.ac.cn
  • 所屬部門： 光刻技術(shù)總體部
  • 通訊地址： 北京市朝陽區(qū)北土城西路3號

    簡　　歷：

  • 教育背景：

    2002.09-2007.03  北京理工大學(xué)，精密儀器及機械專業(yè)，碩博連讀研究生 

    2007.04-2009.06  北京理工大學(xué)，兵器發(fā)射理論與技術(shù)專業(yè)，博士后  

    工作簡歷： 

    2009.06-2014.11  中科院光電研究院，副研究員 

    2014.12-2018.10  中科院光電研究院，研究員，投影光學(xué)研究室副主任 

    2018.11-至今    中科院微電子研究所，研究員，光刻技術(shù)總體部副主任 

    社會任職：

  • 中國科學(xué)院大學(xué)崗位教授，博士生導(dǎo)師

    研究方向：

  • 光刻技術(shù)、精密儀器及光學(xué)、光電信息處理

    承擔科研項目情況：

  • 作為課題負責人，承接國家科技重大專項、省部級項目等科研任務(wù)10余項。

    代表論著：

  • 發(fā)表期刊論文20余篇，會議論文10余篇。 

    [1]齊月靜, 盧增雄, 楊光華.照明物鏡數(shù)值孔徑對微孔衍射波前質(zhì)量影響分析[J].中國激光.2015.42(2）. 

    [2]馬敬，齊月靜，盧增雄. 光譜共焦位移傳感器線性色散物鏡設(shè)計[J]. 中國激光，2019，46(7):0704009.  

    [3]Yuejing Qi, Zengxiong Lu, Gongming Ding, Jiani Su. A new illumination source for Shack-Hartmann wavefront sensor，Proc. of SPIE. 2014.9282. 

    [4]Meng Qingbin,Qi Yuejing, Lu Zengxiong,Su Jiani.  Effect of ambient temperature on the measurement accuracy of Shack-Hartmann wavefront sensor, Proc. of SPIE, 2015,9621. 

    [5] Yuejing Qi, Zengxiong Lu*, Jing Ma, Guanghua Yang, Qingyang Zhang, Bing Li, Wei Qi, Jiani Su. Research on micro displacement measurement technology based on chromatic confocal method[C]. Proc. SPIE, 2019, 108401G.

    專利申請：

  • 申請發(fā)明專利40余項, 申請實用新型共計30項，代表性專利有： 

    [1] 一種基于夏克-哈特曼波前傳感器的光學(xué)系統(tǒng)波像差測量裝置與方法，發(fā)明,專利號:ZL201710247966.9 

    [2] 一種光譜共焦測量系統(tǒng)在線標定裝置與方法，發(fā)明，專利號:ZL 201710242017.1 

    [3]一種深紫外光學(xué)系統(tǒng)共焦對準裝置與方法, 發(fā)明, 專利號: ZL201611169770.4 

    [4]一種深紫外光學(xué)系統(tǒng)波像差檢測裝置和方法，發(fā)明,專利號: ZL 201611169812.4  

    [5] 基于雙光束干涉的投影物鏡波像差在線檢測裝置和方法, 發(fā)明, 專利號: ZL201310041059.0

    獲獎及榮譽：