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當(dāng)前位置 首頁 人才隊伍
  • 姓名： 盧增雄
  • 性別： 男
  • 職稱： 副研究員
  • 職務(wù)： 
  • 學(xué)歷： 博士
  • 電話： 010-82995925
  • 傳真： 
  • 電子郵件： luzengxiong@ime.ac.cn
  • 所屬部門： 光刻技術(shù)總體部
  • 通訊地址： 北京市朝陽區(qū)北土城西路3號

    簡　　歷：

  • 教育背景

    2004.9-2008.7 西南大學(xué)物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院，物理學(xué)專業(yè)，理學(xué)學(xué)士 

    2008.9-2013.7 中科院長春光機所應(yīng)用光學(xué)國家重點實驗室，光學(xué)專業(yè)，理學(xué)博士 

    工作簡歷 

    2013.7-2016.11  中科院光電研究院助理研究員 

    2016.12-2018.10  中科院光電研究院副研究員 

    2018.11-至今  中科院微電子研究所副研究員 

    社會任職：

    研究方向：

  • 光學(xué)檢測；精密儀器

    承擔(dān)科研項目情況：

  • 先后承擔(dān)及參與國家科技重大專項課題、光電研究院創(chuàng)新項目及企業(yè)橫向課題7項，其中3項已結(jié)題，4項在研。

    代表論著：

  • 發(fā)表學(xué)術(shù)論文20余篇，其中代表性論文如下： 

    [1] 馬敬，齊月靜，盧增雄*等. 光譜共焦位移傳感器線性色散物鏡設(shè)計[J]. 中國激光，2019，46(7):0704009. 

    [2] Yuejing Qi, Zengxiong Lu*, Jing Ma, et al. Research on micro displacement measurement technology based on chromatic confocal method[C]. Proc. SPIE, 2019, 108401G. 

    [3] 孟慶賓，齊月靜,盧增雄*等. 環(huán)境溫度變化對夏克-哈特曼波前傳感器測量精度影響分析[J]. 中國激光，2016，43(8): 0810001. 

    [4] 盧增雄，齊月靜，齊威等. 納米精度波像差檢測隨機點源陣列照明優(yōu)化分析[J]. 光學(xué)學(xué)報，2015，35(6):0612007. 

    [5] 盧增雄，金春水，張立超等. 極紫外三維小孔矢量衍射波面質(zhì)量分析[J]. 光學(xué)學(xué)報，2010，30(10): 2849～2854.

    專利申請：

  • 申請發(fā)明專利15項，授權(quán)12項。代表性專利如下： 

    [1]一種高穩(wěn)定低串?dāng)_分束裝置，發(fā)明，201911212058.1 

    [2]一種光譜共焦測量系統(tǒng)標(biāo)定裝置及標(biāo)定方法，發(fā)明， 201710242019.0 

    [3]一種深紫外光學(xué)系統(tǒng)共焦對準裝置與方法，發(fā)明，201611169770.4 

    [4]一種微孔衍射波前質(zhì)量測量裝置與方法，發(fā)明，201510264841.8 

    [5]一種光學(xué)系統(tǒng)波像差測量裝置與測量方法，發(fā)明，201410373440.1

    獲獎及榮譽：