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當前位置 首頁 人才隊伍
  • 姓名： 王丹
  • 性別： 女
  • 職稱： 高級工程師
  • 職務(wù)： 
  • 學歷： 碩士
  • 電話： 82995926
  • 傳真： 
  • 電子郵件： wangdan@ime.ac.cn
  • 所屬部門： 光刻技術(shù)總體部
  • 通訊地址： 北京市朝陽區(qū)北土城西路3號

    簡　　歷：

  • 教育背景

    2004.09--2008.07  北京理工大學，電子科學與技術(shù)專業(yè)，本科 

    2008.07--2010.07  北京理工大學，光學工程專業(yè)，研究生 

    工作簡歷 

    2010.07--2011.06  中科院成都光電所，光學檢測，光學工程師 

    2011.07--2015.09  中科院微電子所，設(shè)備中心，精密測控系統(tǒng)設(shè)計，光學工程師 

    2015.09--2019.01  深圳中科飛測有限公司(北京分公司)，三維形貌檢測，光學工程師 

    2019.02—至今 中科院微電子所，光刻技術(shù)總體部，光學設(shè)計，高級工程師 

    社會任職：

    研究方向：

  • 光刻技術(shù)、精密儀器及光學

    承擔科研項目情況：

  • 參與多項國家科技重大專項課題和子課題，負責其中的光學系統(tǒng)研制。

    代表論著：

  • [1]王丹，劉克，李艷秋，汪海.含中心遮攔剪切干涉圖的波前重建新方法[J].光學技術(shù).2010.9 36(5)

    專利申請：

  • 申請發(fā)明專利 

    [1]一種光學精密系統(tǒng)的對準裝置, 發(fā)明, 專利號: 201410185976.0 

    [2]一種調(diào)焦調(diào)平傳感器測量裝置, 發(fā)明, 專利號: 201410374962.3  

    [3]一種垂向調(diào)整裝置, 發(fā)明, 專利號: 201410374962.3  

    [4]反射式光學系統(tǒng)及其裝調(diào)測試方案,發(fā)明,專利號: 201911212108.6 

    [5]用于EUV真空環(huán)境中的光電轉(zhuǎn)換電子學裝置及光刻機，發(fā)明,  

    專利號: 201911212670.9

    獲獎及榮譽：