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當(dāng)前位置 首頁 人才隊伍
  • 姓名： 徐天偉
  • 性別： 男
  • 職稱： 高級工程師
  • 職務(wù)： 
  • 學(xué)歷： 碩士
  • 電話： 
  • 傳真： 
  • 電子郵件： xutianwei@ime.ac.cn
  • 所屬部門： 光刻技術(shù)總體部
  • 通訊地址： 北京市朝陽區(qū)北土城西路3號

    簡　　歷：

  • 教育背景

    1997.09-2001.06 長春理工大學(xué)，光學(xué)技術(shù)與光電儀器，本科 

    2004.09-2006.06 長春理工大學(xué)，光學(xué)工程，碩士研究生 

    工作背景

    2001.07-2002.10 新福克斯（深圳）光電通訊有限公司，工程師 

    2006.07-2012.05 北京中科科儀股份有限公司，工程師 

    2012.05-2017.03 中科院微電子研究所，工程師 

    2019.01-至今   中科院微電子研究所，高級工程師 

    社會任職：

    研究方向：

  • 光刻技術(shù)、精密測控技術(shù)、EUV超清潔真空

    承擔(dān)科研項目情況：

  • 作為技術(shù)骨干，承接國家科技重大專項、國家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施項目多項。

    代表論著：

  • [1]定容法正壓漏孔校準(zhǔn)裝置.真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報. 2014.34(6) 

    專利申請：

  • 代表性專利： 

    [1]一種氣體分析裝置及方法，發(fā)明，專利號: 201310430575.2 

    [2]一種集光系統(tǒng)防污染保護(hù)裝置，發(fā)明，專利號: 201210505346.8  

    [3]一種用于EUV真空環(huán)境中的電子學(xué)裝置，發(fā)明，專利號: 201310172932.X 

    [4]一種光譜橢偏測量裝置及方法，發(fā)明，專利號: 201310436198.3 

    [5]一種分子泵軸承組件，發(fā)明，專利號:200910089537.9 

    [6]分子泵供油錐及供油系統(tǒng)，發(fā)明，專利號:201020608645.0 

    [7] 用于EUV真空環(huán)境中的光電轉(zhuǎn)換電子學(xué)裝置及光刻機(jī)，發(fā)明，專利號:201911212670.9 

    [8] 用于EUV真空環(huán)境中的光傳輸裝置及光刻機(jī)，發(fā)明，專利號:201911212715.2s 

    [9]反射式光學(xué)系統(tǒng)及其裝調(diào)測試方法，發(fā)明，專利號:201911212108.6

    獲獎及榮譽(yù)：