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當前位置 首頁 人才隊伍
  • 姓名: 宗明成
  • 性別: 男
  • 職稱: 研究員
  • 職務: 
  • 學歷: 博士
  • 電話: 010-82995870
  • 傳真: 
  • 電子郵件: zongmingcheng@ime.ac.cn
  • 所屬部門: 光刻技術總體部
  • 通訊地址: 北京市朝陽區(qū)北土城西路3號

    簡  歷:

  • 教育背景

    1989年畢業(yè)于清華大學物理系,獲理學(光學)博士學位  

    1986年畢業(yè)于東南大學電子工程系,獲工學碩士學位  

    1983年畢業(yè)于東南大學電子工程系,獲工學學士學位 

    工作簡歷 

    2011.04 –至今:中國科學院微電子研究所副總工、研究員、博士生導師,國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”總體組特聘專家。 

    2009.05 2011.03:荷蘭皇家飛利浦照明研發(fā)中心(中國)總監(jiān)。  

    2000.01 2009.05:荷蘭ASML光刻機公司研發(fā)經(jīng)理、高級工程師。  

    1999.02 1999.12:荷蘭國家原子分子研究所 (AMOLF)研究員。  

    1998.02 1999.01:荷蘭代爾夫特(Delft)技術大學研究員。  

    1990.01 1998.01:北京交通大學教授,系主任等。 

    社會任職:

    研究方向:

  • 先進光刻技術、光學工程、精密檢測技術

    承擔科研項目情況:

  • 作為課題負責人或首席科學家先后承擔5項國家科技重大專項研究任務。

    代表論著:

  • 發(fā)表約30篇學術論文。

    專利申請:

  • 中國、美國發(fā)明專利約20項。

    獲獎及榮譽: