教育背景
1989年畢業(yè)于清華大學物理系,獲理學(光學)博士學位
1986年畢業(yè)于東南大學電子工程系,獲工學碩士學位
1983年畢業(yè)于東南大學電子工程系,獲工學學士學位
工作簡歷
2011.04 –至今:中國科學院微電子研究所副總工、研究員、博士生導師,國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”總體組特聘專家。
2009.05 – 2011.03:荷蘭皇家飛利浦照明研發(fā)中心(中國)總監(jiān)。
2000.01 – 2009.05:荷蘭ASML光刻機公司研發(fā)經(jīng)理、高級工程師。
1999.02 – 1999.12:荷蘭國家原子分子研究所 (AMOLF)研究員。
1998.02 – 1999.01:荷蘭代爾夫特(Delft)技術大學研究員。
1990.01 – 1998.01:北京交通大學教授,系主任等。
人才隊伍