最新精品国偷自产在线美女足_国产午夜精华无码网站_天天爱天天做狠狠久久做_国产片免费福利片永久_欧美国产成人精品一区二区三区

當前位置 首頁 人才隊伍
  • 姓名： 韓曉泉
  • 性別： 男
  • 職稱： 正高級工程師
  • 職務(wù)： 
  • 學(xué)歷： 博士
  • 電話： 010-82178623
  • 傳真： 
  • 電子郵件： hanxiaoquan@ime.ac.cn
  • 所屬部門： 光電研發(fā)中心
  • 通訊地址： 北京市朝陽區(qū)北土城西路3號

    簡　　歷：

  • 教育背景： 

    2000.9－2005.3　中國科學(xué)院長春光機所　機械制造及其自動化專業(yè)，　工學(xué)博士 

    1996.9－2000.7  四川大學(xué)　　　　　　　工業(yè)自動化專業(yè)　　　　　　工學(xué)學(xué)士 

    工作簡歷： 

    2005.04－2018.10， 中科院光電研究院　助研，副研 

    2018.11－至今， 中科院微電子所　  副研，正高工 

    社會任職：

  • 國家知識產(chǎn)權(quán)局學(xué)術(shù)委員會，中國專利審查技術(shù)專家 

    財政部政府采購評審專家

    研究方向：

  • 光電測量、精密控制，信號處理

    承擔(dān)科研項目情況：

  • 1. 248nm KrF光刻機曝光光源開發(fā)，負責(zé)人 

    2. 國家重大專項 40W 4KHz ArF曝光光源產(chǎn)品開發(fā)，參與 

    3. 國家重大專項 浸沒式曝光光源研制與小批量產(chǎn)品生產(chǎn)能力建設(shè)，參與 

    4．中科院STS項目 248nm曝光光源產(chǎn)業(yè)化，負責(zé)人 

    5．北京市科委項目 SiC基紫外探測器研制，子課題負責(zé)人 

    代表論著：

  • 1. Image Acquisition and Motion positioning system Design Based on the Projection Lens Wavefront Aberration Measurement，2017，SPIE　Advanced Lithography 

    2. A design of energy detector for ArF excimer lasers，2017，SPIE, 

    3. 準分子激光器溫度控制系統(tǒng)設(shè)計，量子電子學(xué)報，2015.

    專利申請：

  • 1. 基于Smith預(yù)估補償?shù)臏史肿蛹す馄鳒囟瓤刂品椒跋到y(tǒng) 

    2. 一種激光器中心波長測量的溫漂反饋方法 

    3. 一種準分子激光器能量探測器的能量值標定系統(tǒng)及方法 

    4. 一種準分子激光脈沖能量穩(wěn)定性控制方法 

    5．基于原子吸收的FP波長計溫漂校準裝置和方法

    獲獎及榮譽：

  • 2009北京市科學(xué)技術(shù)獎一等獎/排名10 

    2010上海世博會科技攻關(guān)成果特別獎/排名第3 

    2017中科院北京分院成果轉(zhuǎn)化特等獎/排名第9