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當(dāng)前位置 首頁 人才隊(duì)伍
  • 姓名： 丁金濱
  • 性別： 男
  • 職稱： 高級(jí)工程師
  • 職務(wù)： 
  • 學(xué)歷： 碩士
  • 電話： 010-82178623
  • 傳真： 
  • 電子郵件： dingjinbin@ime.ac.cn
  • 所屬部門： 光電研發(fā)中心
  • 通訊地址： 北京市朝陽區(qū)北土城西路3號(hào)

    簡(jiǎn)　　歷：

  • 教育背景

    2006年04月畢業(yè)于北京航空航天大學(xué)航空宇航推進(jìn)理論與工程專業(yè)，碩士研究生學(xué)歷 

    工作簡(jiǎn)歷 

    2002.07-2003.06  中國兵器工業(yè)第五設(shè)計(jì)研究院  助理工程師 

    2006.04-2018.10  中國科學(xué)院光電研究院光電工程部  助理工程師-工程師-高級(jí)工程師 

    2018.11-今      中國科學(xué)院微電子研究所光電研發(fā)中心  高級(jí)工程師 

    社會(huì)任職：

    研究方向：

  • 精密儀器與機(jī)械、準(zhǔn)分子激光技術(shù)、光電測(cè)量技術(shù)

    承擔(dān)科研項(xiàng)目情況：

  • 1. 248nm KrF光刻機(jī)曝光光源開發(fā) 

    2. 40W 4KHz ArF曝光光源產(chǎn)品開發(fā) 

    3. 浸沒式曝光光源研制與小批量產(chǎn)品生產(chǎn)能力建設(shè)

    代表論著：

  • 1. 高重頻準(zhǔn)分子激光器中放電沖擊波特性的實(shí)驗(yàn)研究, 中國激光, 2019 

    2. ANSYS Workbench 18.0有限元分析案例詳解, 清華大學(xué)出版社, 2019 

    3. Corrosion Behaviors of the Copper Alloy Electrodes in ArF Excimer Laser Operation Process, High Power Laser Science and Engineering, 2017

    專利申請(qǐng)：

  • 獲授權(quán)國際專利2項(xiàng)，申請(qǐng)國內(nèi)發(fā)明專利三十余項(xiàng)，其中獲得授權(quán)21項(xiàng)，部分如下： 

    1. 激光器放電腔的六自由度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu), CN103269009B  

    2. 一種準(zhǔn)分子激光器用貫流風(fēng)機(jī)葉輪, CN102777416B  

    3. 基于改進(jìn)的貫流風(fēng)機(jī)葉輪的單腔雙電極放電腔, CN103151679B 

    4. 一種準(zhǔn)分子激光器高純工作氣體配送系統(tǒng)及方法, CN105846290B 

    5. 雙電極放電腔的導(dǎo)流裝置及應(yīng)用其的放電腔、準(zhǔn)分子激光器, CN102969645B

    獲獎(jiǎng)及榮譽(yù)：

  • 1、第十七屆中國專利獎(jiǎng)優(yōu)秀獎(jiǎng)，中華人民共和國知識(shí)產(chǎn)權(quán)局，2015年12月 

    2、第四屆北京市發(fā)明專利獎(jiǎng)三等獎(jiǎng)，北京市人民政府，2017年02月 

    3、科技成果轉(zhuǎn)化特等獎(jiǎng)，中國科學(xué)院北京分院，2015年12月