教育背景
2004.9-2011.7，中國科學(xué)院力學(xué)研究所，一般力學(xué)與力學(xué)基礎(chǔ)，博士
2000.9-2004.7，中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)，力學(xué)與機(jī)械工程系，學(xué)士
工作簡歷
2020.7-至今，中國科學(xué)院微電子研究所，高級(jí)工程師
2011.7-2020.6，中國科學(xué)院微電子研究所，助理研究員
芯粒異構(gòu)集成芯片翹曲及熱應(yīng)力仿真與EDA，芯片可靠性驗(yàn)證等
參與01、02國家科技重大專項(xiàng)子課題、國家自然科學(xué)基金、中科院先導(dǎo)A類項(xiàng)目、北京市科技創(chuàng)新基地培育與發(fā)展工程子專項(xiàng)、企業(yè)橫向課題等10余項(xiàng)。
????1.?國家其他任務(wù)：關(guān)鍵EDA工具，2022.9 -2026.9，項(xiàng)目主要參與人員
????2.中國科學(xué)院先導(dǎo)A項(xiàng)目：集成電路基礎(chǔ)器件仿真軟件與系統(tǒng)集成設(shè)計(jì)，2022.11 -2025.10，項(xiàng)目主要參與人員?
1.?Chenghan Wang, Qinzhi Xu, Chuanjun Nie, He Cao, Jianyun Liu, Daoqing Zhang, Zhiqiang Li; A
multiscale anisotropic thermal model of chiplet heterogeneous integration system, IEEE
TRANSACTIONS ON VERY LARGE SCALE INTEGRATTION SYSTEMS, 32(1) 178-189 (2024). (SCI,
IF=2.8)
2.?Chuanjun Nie, Qinzhi Xu, Chenghan Wang, He Cao, Jianyun Liu, Zhiqiang Li; Efficient transient
thermal analysis of chiplet heterogeneous integration, Applied Thermal Engineering, 229 120609 (2023)
(SCI, IF=6.465)
3.?Chenghan Wang, Qinzhi Xu, Chuanjun Nie, He Cao, Jianyun Liu, Zhiqiang Li; An efficient thermal
model of chiplet heterogeneous integration system for steady-state temperature prediction,
Microelectronics Reliability, 146 115006 (2023). (SCI, IF=1.6)
4.?Qinzhi Xu, He Cao and Jianyun Liu; A Physics-Based Chip-Scale Surface Profile Model for Tungsten
Chemical Mechanical Planarization, ECS. J. Solid State Sci. Technol. 12, 024004 (2023). (SCI, IF=2.2)
5.?Qinzhi Xu, Lan Chen, He Cao and Jianyun Liu; A Neural Network-Based Approach to Material
Removal Rate Prediction for Copper Chemical Mechanical Planarization, ECS. J. Solid State Sci.
Technol. 10, 054003 (2021). (SCI, IF=2.2)
6.?He Cao, Ding Lan, Yuren. Wang, Alex A. Volinsky, Li Duan, Heng Jiang, Fracture of colloidal single-
crystal films fabricated by controlled vertical drying deposition, Physical Review E, 2010, 82(3):31062.
(SCI, IF=2.3)
????7.?曹鶴, 藍(lán)鼎, 王育人, 垂直沉積干燥薄膜的剪切模量粒徑依賴研究, 力學(xué)與實(shí)踐, 2012, (01):27-30. (EI)
申請專利30余項(xiàng)，已授權(quán)27項(xiàng)。
1.?曹鶴, 陳嵐, 徐勤志, 孫艷，一種確定CMP工藝蝶形缺陷位置的方法及裝置，CN202110818227.7.
2.?曹鶴，陳嵐，徐勤志，孫艷，基于多重自由網(wǎng)格的化學(xué)機(jī)械研磨工藝缺陷處理方法，CN202010369784.0.
3.?曹鶴，陳嵐，孫艷，張賀,CMP缺陷的檢測方法、裝置、存儲(chǔ)介質(zhì)和處理器,CN201910749049.X.
4.?曹鶴，陳嵐，孫艷，張賀，彩虹，一種CMP后表面形貌預(yù)測方法及裝置，CN201810265900.7.
5.?曹鶴, 陳嵐, 孫艷，一種冗余金屬的填充方法及系統(tǒng)，CN201710422995.4.
6.?曹鶴，陳嵐，孫艷，張賀，一種改善CMP缺陷的優(yōu)化方法及系統(tǒng)，CN201710398820.4.
7.?曹鶴，陳嵐，張賀，CMP缺陷預(yù)測方法和系統(tǒng)，ZL201611089351.X.
8.?曹鶴，陳嵐，張賀，一種冗余金屬的填充方法及裝置，ZL201611089393.3.
9.?曹鶴，陳嵐，劉建云，石顯鋒，張賀，一種冗余金屬填充的方法及系統(tǒng)，ZL201610119214.X.
????10.曹鶴，陳嵐，張賀，一種化學(xué)機(jī)械研磨缺陷檢測方法，CN107195561A.
人才隊(duì)伍