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專利名稱: 半導(dǎo)體芯片焊料凸點(diǎn)加工方法
專利類別:
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: 00133603.7
申請(qǐng)日期: 2000-11-28
專利號(hào): CN1355555
第一發(fā)明人: 王文泉
其它發(fā)明人:
國(guó)外申請(qǐng)日期:
國(guó)外申請(qǐng)方式:
專利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實(shí)施情況:
專利證書號(hào):
專利摘要: 一種半導(dǎo)體芯片焊料凸點(diǎn)加工方法,包括如下步驟:步驟1:球下金屬化層;步驟2:介質(zhì)膜的淀積與刻蝕;步驟3:電鍍工藝:a、電鍍銅微型凸點(diǎn)或稱厚銅:采用光亮硫酸鹽鍍液配方,鍍銅厚度5-10μm;b、電鍍鉛錫合金凸點(diǎn):采用光亮鉛錫合金電鍍配方以及材料,二元系鉛錫合金一次電鍍完成;步驟4:回流工藝:采用回流峰值溫度高于焊料熔點(diǎn)10-50℃,并采用中性助焊劑。
其它備注: