專利名稱: | 半導(dǎo)體芯片焊料凸點(diǎn)加工方法 |
專利類別: | |
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 00133603.7 |
申請(qǐng)日期: | 2000-11-28 |
專利號(hào): | CN1355555 |
第一發(fā)明人: | 王文泉 |
其它發(fā)明人: | |
國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
專利授權(quán)日期: | |
繳費(fèi)情況: | |
實(shí)施情況: | |
專利證書號(hào): | |
專利摘要: | 一種半導(dǎo)體芯片焊料凸點(diǎn)加工方法,包括如下步驟:步驟1:球下金屬化層;步驟2:介質(zhì)膜的淀積與刻蝕;步驟3:電鍍工藝:a、電鍍銅微型凸點(diǎn)或稱厚銅:采用光亮硫酸鹽鍍液配方,鍍銅厚度5-10μm;b、電鍍鉛錫合金凸點(diǎn):采用光亮鉛錫合金電鍍配方以及材料,二元系鉛錫合金一次電鍍完成;步驟4:回流工藝:采用回流峰值溫度高于焊料熔點(diǎn)10-50℃,并采用中性助焊劑。 |
其它備注: | |
科研產(chǎn)出