| 專利名稱: | 采用鍺或銻預(yù)無定形注入及清洗的鈦硅化物方法 |
| 專利類別: | |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 00135750.6 |
| 申請(qǐng)日期: | 2000-12-19 |
| 專利號(hào): | CN1360341 |
| 第一發(fā)明人: | 徐秋霞 錢鶴 柴淑敏 邢小平 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請(qǐng)日期: | |
| 國外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書號(hào): | |
| 專利摘要: | 一種采用鍺或銻預(yù)無定形注入及清洗硅化物的方法，包括如下步驟；步驟1：在源/漏結(jié)形成后、濺鈦前，對(duì)整個(gè)硅片采用鍺或銻的預(yù)無定形注入的方法來促進(jìn)相轉(zhuǎn)移；步驟2：濺鈦前，對(duì)硅片進(jìn)行清洗處理；步驟3：濺鈦前進(jìn)行真空腔內(nèi)預(yù)退火處理；步驟4：進(jìn)行薄鈦－自對(duì)準(zhǔn)硅化物工藝。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出