| 專利名稱: | T型柵制作的方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 02122636.9 |
| 申請日期: | 2002-06-19 |
| 專利號: | CN1464527 |
| 第一發(fā)明人: | 張海英 劉訓(xùn)春 石華芬 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費情況: | |
| 實施情況: | |
| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明一種T型柵制作的方法，包括如下步驟：(1)取待制作T型柵的基片，對該基片進行清洗，并用氮氣吹干，烘干；(2)在基片上涂三層PMMA/PMGI/PMMA膠，烘干；(3)將涂膠后的基片送電子束曝光、顯影、定影；(4)進行挖柵槽、柵金屬蒸發(fā)、剝離工藝，完成器件或電路制作。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出