| 專利名稱: | 在襯底上制備空氣橋的方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 02141340.1 |
| 申請日期: | 2002-07-05 |
| 專利號: | CN1466189 |
| 第一發(fā)明人: | 劉訓(xùn)春 李無暇 王潤海 羅明雄 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 一種在襯底上制備空氣橋的方法，包括如下步驟：(1)在襯底上涂兩層光刻膠；(2)在上層光刻膠上曝光、顯影，獲得橋模圖形；(3)對下層刻蝕和氯苯浸泡，將上層的橋模圖形轉(zhuǎn)移到下層；(4)泛曝光、顯影去除剩余的上層膠；(5)在已形成橋模的襯底上，涂薄聚甲基丙烯酸甲酯-順丁烯二酐光刻膠光刻膠和厚正膠；經(jīng)曝光、反轉(zhuǎn)顯影使普通正性光刻膠形成布線圖形，等離子刻蝕去除布線圖形窗口內(nèi)的聚甲基丙烯酸甲酯-順丁烯二酐光刻膠；(6)蒸發(fā)金屬、剝離后形成空氣橋布線金屬。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出