| 專利名稱: | 一種真空或充氣的操作裝置 |
| 專利類別: | |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 91226342.3 |
| 申請(qǐng)日期: | 1991-10-14 |
| 專利號(hào): | CN2108995 |
| 第一發(fā)明人: | 李秀瓊 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請(qǐng)日期: | |
| 國外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書號(hào): | |
| 專利摘要: | 本實(shí)用新型公開了一種在潔凈工藝中使用的真空或充氣操作裝置。它包含既可以分隔、又可以連通的內(nèi)外兩個(gè)腔體。分隔時(shí)可在內(nèi)腔體中進(jìn)行物件的工藝處理。連通時(shí)則可在外腔體中進(jìn)行待處理與已處理物件的裝卸。外腔體中裝有載物臺(tái)與機(jī)械手，可供貯存與裝卸物件。這樣的裝置可以在多次處理對(duì)象中連續(xù)保持腔體的真空或純凈，提高了工作效率，并保證了工藝的潔凈。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出