| 專利名稱: | 一種夾板式X光光刻對準裝置 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 95201234.0 |
| 申請日期: | 1995-01-23 |
| 專利號: | CN2268944 |
| 第一發(fā)明人: | 高士平 王保強 程秀玲 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費情況: | |
| 實施情況: | |
| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 一種夾板式Ｘ光光刻對準裝置，涉及到由裝配有Ｘ光光刻掩模的上基板，放置固定被加工基片的下基板，以及連結(jié)環(huán)三個主要部分組成的裝置；利用該裝置在常規(guī)光刻機上將掩模圖形與基片圖形對準并控制它們之間距離，通過把裝置固定成一體來固定圖形相對位置，再把裝置送到Ｘ光光刻束線中曝光，實現(xiàn)器件制作中的圖形對準Ｘ光光刻。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出