| 專利名稱: | 硅片拋光機(jī)頭吸盤 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 01218504.3 |
| 申請日期: | 2001-03-29 |
| 專利號: | CN2470953 |
| 第一發(fā)明人: | 夏洋 張國海 歐文 申作成 錢鶴 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 一種硅片拋光機(jī)頭吸盤，有一機(jī)臂呈圓盤狀，中心凸伸有一凸柱，一真空入口穿過機(jī)臂的中心；一真空腔體中心開有一圓孔，內(nèi)部有一圓盤狀的腔室與圓孔連通，真空腔體與圓孔相反的一面開有多數(shù)的微孔；一彈性膜為一圓片體，中心開有一通孔，彈性膜置于機(jī)臂與真空腔體之間；一橡膠層一圓片體，貼覆于真空腔體的一面，在其上開有多數(shù)的與真空腔體上開有的微孔對應(yīng)的微孔；一圓環(huán)片固定在橡膠層的另一面。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出