| 專利名稱: | 一種聲表面波器件的制備方法 |
| 專利類別: | |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200610003586.2 |
| 申請(qǐng)日期: | 2006-02-15 |
| 專利號(hào): | CN101022270 |
| 第一發(fā)明人: | 王叢舜 牛潔斌 涂德鈺 謝常青 陳寶欽 劉 明 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請(qǐng)日期: | |
| 國外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書號(hào): | |
| 專利摘要: | 一種聲表面波器件的制備方法，其工藝步驟如下：1.在壓電基片上 旋涂壓印膠；2、制備聲表面波器件壓模并對(duì)其表面進(jìn)行防粘連處理；3. 將帶有聲表面波器件電極圖形的壓模壓入壓印膠中，通過加熱、加壓或 紫外光輻照固化等壓印方式得到電極的膠圖形；4.分離壓模和基片；5. 利用氧等離子干法刻蝕殘膠，直到露出基片；6.濺射或蒸發(fā)電極材料； 7.剝離得到電極圖形，完成聲表面波器件的制備。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出