| 專利名稱: | 一種結(jié)合壓印技術(shù)制備各向異性有機場效應(yīng)管的方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200610012052.6 |
| 申請日期: | 2006-05-31 |
| 專利號: | CN101083302 |
| 第一發(fā)明人: | 商立偉 涂德鈺 王叢舜 劉 明 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 實施情況: | |
| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明屬于有機半導(dǎo)體學(xué)中的微細加工領(lǐng)域，特別涉及一種結(jié)合壓 印技術(shù)制備各向異性有機場效應(yīng)管的方法。其步驟如下：1.在導(dǎo)電基底 上制備絕緣介質(zhì)層；2.在絕緣介質(zhì)層薄膜表面上沉積生長第一層有機半 導(dǎo)體薄膜；3.利用模板壓印有機薄膜，把設(shè)計的模板圖形轉(zhuǎn)移到第一層 有機薄膜上；4.沉積生長第二層同質(zhì)有機物薄膜；5.通過鏤空的掩模 版沉積源漏金屬電極，完成各向異性有機場效應(yīng)管的制備。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出